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NPM-D3 EJM6DC-MB-06O-02 生产数据 校正 操作篇 6-2-3 6-2-3 -3 基板弯曲计测点校正 2 ( 选购件 ) 2 + 确认提示 3 1 2 4 3 5 5 + 1 轨道的选择 ■需要变更在每个点上计测的点时 跳至步骤 至 3 ■需要对全部的点实施计测并确认结果时 跳至步骤 至 11 ( 双轨道时。 ) 基板弯曲 ( 只有在弯曲模式为图形之际能够选 择。 ) ●设定图形序号 ( 确认基板搬入提示后，设置基板…
NPM-D3 EJM6DC-MB-06O-02
6-2-3-2
输入基板弯曲计测点数据
开始校正
选择计测点数据
调整位置
计测测试
保存数据
完成校正
在NPM-DGS上编制
校正的流程
NPM-D3 EJM6DC-MB-06O-02
生产数据
校正
操作篇
6-2-3
6-2-3-3
基板弯曲计测点校正 2
(选购件)
2
+
确认提示
3
1
2
4
3
5
5
+
1
轨道的选择
■需要变更在每个点上计测的点时
跳至步骤 至
3
■需要对全部的点实施计测并确认结果时
跳至步骤 至
11
(双轨道时。)
基板弯曲
(只有在弯曲模式为图形之际能够选
择。)
●设定图形序号
(确认基板搬入提示后，设置基板。)
图案
(显示基板弯曲测定点数据。)
校正顺序 1
(基板被搬入，并执行识别标记的识别。)
NPM-D3 EJM6DC-MB-06O-02
6-2-3-4
6
6
7
7
+
选择需要计测的坐标No
(贴装头照相机移动到计测坐标上，并
能够通过视觉确认计测点的状态。)
●显示在画面上的图像中心为计测位置
●通过目视确认计测点属于与基板表面
条件相匹配的面