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NPM-D3 EJM6DC-MB-02O-0 2 个别 准备 2-5-8 -5 支撑销 ( 自动更换用 ) 的安装 3 ●基板支撑块下降。 17 ENABLING ●然后,确认在基准位置实际配 置的支撑销数量和设备内保持 的支撑销数量。 支撑销 ( 自动更换用 ) 的安装 3 操作篇 2-5-8

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2-5-8-4
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安装基板支撑块(自动更换用)时,注意请勿倾斜安装
(可能与轨道有干扰)
●设置支撑销时,注意请勿碰撞到轨道等。
●设置好基板支撑块后,将支撑销安装到螺栓侧,并确
认支撑销紧靠螺栓。
12 11
取下棉纱布
13
ENABLING
15 16
14
SERVO
ON
顺序
17
安装交换台车
(→『维修保养篇』
P.3-2)
前侧
安装供料器工作台
盖

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个别
准备
2-5-8-5
支撑销(自动更换用)的安装 3
●基板支撑块下降。
17
ENABLING
●然后,确认在基准位置实际配
置的支撑销数量和设备内保持
的支撑销数量。
支撑销(自动更换用)的安装 3
操作篇
2-5-8

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2-5-8-6
确认支撑销的数量
1
1
+
输入设备内的支撑销数量
(XY单元退避,成为可以增减支撑销的状
态)
当为双轨模式时,请在需要注册销的
轨道上切换轨道显示图标。
(→P2-2-1-
9 ‘轨道切换按钮’)
3
3
+
■设备内配置的支撑销的数量和登录的支
撑销使用数量不同时
●重新登录或者设置,使两者数量相同。
(确认支撑销的数量和位置,信息被更新)
4
4
在以下步骤说明中,画面采用了长规格的示例,短规格的步骤也与此相同。
2
2