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NPM-D3 EJM6DC-MB-09O-0 2 规格 外形尺寸 交换台车规格 ■连接交换台车时 ( 单位 :mm) 通知 9-1-3 -1 前侧 基板搬送基准 基板搬送高度 2 652 686 941 421 420 1 207 864 1 025 820 ( 盖的外形 ) 830 ( 传送带宽度 ) 832 ( 主体 ) 1 514 ( 横向放置信号塔时 ) 1 629 ( 纵向放置信号塔时 ) 调整螺栓 交换台车 941 686 …
NPM-D3 EJM6DC-MB-09O-02
规格
9-1-2
单轨模式
基准轨道
从左向右输送、前侧基准 从右向左输送、前侧基准
从左向右输送、内侧基准 从右向左输送、内侧基准
可动轨道
1 2
1 2
基板搬送方向
基准轨道
基板搬送方向
可动轨道
基准轨道
可动轨道
基板搬送方向
基准轨道
可动轨道
基准轨道
可动轨道
基准轨道
基板搬送方向
基准轨道
可动轨道
基准轨道
基板搬送方向 基板搬送方向
前侧 前侧
前侧 前侧
操作篇
9-1-2
基板的传送方向
●基板流动方向的更改，作为选项来对应。
●若要改成以内侧为基准 (单轨模式时) 的状态，将设备翻转来对应。
双轨模式
NPM-D3 EJM6DC-MB-09O-02
规格
外形尺寸
交换台车规格
■连接交换台车时
(单位:mm)
通知
9-1-3-1
前侧
基板搬送基准
基板搬送高度
2 652
686
941
421420
1 207
864
1 025
820 (盖的外形)
830 (传送带宽度)
832 (主体)
1 514 (横向放置信号塔时)
1 629 (纵向放置信号塔时)
调整螺栓
交换台车
941
686
964 465305
●插图的比例尺寸从严格角度来看，与实际设备可能不一致。在决定生产构成、尺寸等时，请另外申
请资料。
●设备的下面如果要放置导管，需要与设备之间空开40 mm以上的距离。
操作篇
9-1-3
外形尺寸
5
820
7
1444
900
5
5
基板搬送基准
NPM-D3 EJM6DC-MB-09O-02
托盘料架规格
(单位:mm)
■连接托盘料架时
外形尺寸
9-1-3-2
前侧
前侧
外形尺寸
■连接交换台车时
2 683
1742
941
1 207
864
1 711
2 729
1 788
941
1 207
864
1 711
托盘料架
交换台车
交换台车
交换台车
基板搬送基准
基板搬送基准