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NPM-D3 EJM6DC-MB-03O-0 2 生产 信息 基板弯曲检测错误 2 3-2-16 -3 6 ( 将删除错误发生位置的基板信息 ) 7 6 ( 返回到生产准备动作画面 ) 8 7 8 操作篇 3-2-16 + ● 完成了基板抽取作业。 ( 开始生产 )

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NPM-D3 EJM6DC-MB-03O-02
3-2-16-2
3
从设备上抽出发生错误的基板
4
确认已抽出后
(将会开始生产)
5
发生基板位置错误后
5
+
NPM-D3 EJM6DC-MB-03O-02
生产
信息
基板弯曲检测错误 2
3-2-16-3
6
(将删除错误发生位置的基板信息)
7
6
(返回到生产准备动作画面)
8
7
8
操作篇
3-2-16
+
●完成了基板抽取作业。
(开始生产)
NPM-D3 EJM6DC-MB-03O-02
3-2-16-4
③变更基板弯曲倾斜容许值
④ 基板弯曲计测校正
变更动作参数“基板弯曲倾斜容许值”的设定
实施校正
动作参数
基板弯曲