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NPM-D3 EJM6DC-MB-02O-02 2-5-8 -2 8 卸下基板支撑块 ( 自动更换用 ) 基板支撑块 ( 自动更换用 ) ●用双手向上慢慢卸下。 ●注意不要碰撞或把垃圾掉到多功能 识别照相机 (LED 照明上 ) 。 ●按照相同方法取下各个轨道。 顺序 9 ●拉出基板支撑块 ( 自动更换用 ) 。
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个别
准备
支撑销(自动更换用)的安装 1
1
ENABLING
卸下基板
2
ENABLING
3
OFF
SERVO
5
4
7
6
2-5-8-1
前侧
●基板支撑块上升
用棉纱布盖在多功
能识别照相机上
支撑销(自动更换用)的安装 1
卸下更换台车
(→『维修保养篇』
P.3-2)
卸下供料器工作台
盖
操作篇
2-5-8
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2-5-8-2
8
卸下基板支撑块(自动更换用)
基板支撑块(自动更换用)
●用双手向上慢慢卸下。
●注意不要碰撞或把垃圾掉到多功能识别照相机
(LED照明上) 。
●按照相同方法取下各个轨道。
顺序
9
●拉出基板支撑块(自动更换用)。
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个别
准备
2-5-8-3
9
在基板支撑块(自动更换用)上设置支撑销
●设置支撑销时，必需设置在基准位置。(可能与传送带有干扰)
●在紧靠初始位上的螺栓的状态下，设置支撑销。 (在进行配置动作
时，有可能会发生与所吸附支撑销相干涉的危险。)
●基板流向是左→右时，从右端按顺序设置。
基板流向是右→左时，从左端按顺序设置。
●单轨模式时，只设置在固定轨道侧。
支撑销(自动更换用)的安装 2
左 右流向
后侧
前侧
单轨模式的配置
前侧
轨道2
轨道1
双轨模式的配置
前侧
4321
･･･
4321
･･･
4321
･･･
右 左流向
后侧
前侧
单轨模式的配置
前侧
轨道1
双轨模式的配置
前侧
4321
･･･
1234
･･･
1234
･･･
轨道2
螺栓
支撑销(自动更换用)的安装 2
操作篇
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