00197498-03_UM_SiplaceCA-Serie_EN.pdf - 第10页

Contents User Manual SIPLACE CA-Series From software version SC.708.0 Edition 12/2014 EN 10 5 Setting up and Commissioning . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .257 5.1 Dimensions and Wei…

User Manual SIPLACE CA-Series Contents

From software version SC.708.0 Edition 12/2014 EN

4.1.5 Pick & Transfer Process in Detail. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 207

4.1.5.1 Flip Chip Segment 1 (Nozzle) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 207

4.1.5.2 Flip Chip Segment 1 (Z Direction) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 208

4.1.5.3 Die Attach - Transfer Position . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 209

4.1.5.4 Flip Chip Encoded Positions (After Calibration) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 210

4.2 Overview of the Modules . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 213

4.3 Description of the SWS Modules . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .216

4.3.1 Supply Unit . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 216

4.3.2 Flip Unit . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 217

4.3.3 Wafer Camera System . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 219

4.3.4 Wafer Table . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 219

4.3.4.1 Wafer support. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 221

4.3.5 Die Ejector . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 223

4.3.6 Ejector Tool . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 225

4.3.7 Wafer Changer System . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 226

4.3.7.1 Magazine lift . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 228

4.3.7.2 Wafer changer . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 229

4.4 Optional Components. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 231

4.4.1 Linear Dipping Unit (LDU) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 231

4.4.2 Die Attach Unit . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 232

4.4.3 Small Die Kit. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 233

4.4.4 Wafer Map System. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 233

4.4.5 Barcode Scanner . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 233

4.4.5.1 Technical Data . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 234

4.5 SIPLACE SWS Wafer Stretcher . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .235

4.5.1 Safety Instructions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 236

4.5.2 Technical Data . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 237

4.5.3 Placement Accuracy and Performance Values . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 237

4.5.4 Description . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 238

4.5.5 Mechanically Setting the Stretching Factor . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 239

4.5.5.1 Preparations. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 239

4.5.5.2 Settings . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 240

4.5.6 Setting the frame width for 8" wafer supports . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 241

4.5.6.1 Preparations. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 241

4.5.6.2 Settings . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 242

4.5.7 Converting the wafer support . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 243

4.5.7.1 Parts in the 12" wafer expander retrofit kit . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 244

4.5.7.2 Preparations. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 245

4.5.7.3 Removing the 8" wafer support . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 246

4.5.7.4 Differences in conversion from 12" to 8 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 256

Contents User Manual SIPLACE CA-Series

From software version SC.708.0 Edition 12/2014 EN

5 Setting up and Commissioning . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .257

5.1 Dimensions and Weight . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 257

5.2 Delivery Configuration and Transportation of Placement Machine . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .257

5.2.1 Shipping Packaging . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 257

5.2.1.1 Dimensions of Transportation Packaging. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 257

5.2.1.2 Weight of Machine When Ready For Dispatch. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 258

5.2.2 Configuration When Delivered . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 258

5.2.3 Transporting the Placement Machine in a Crate . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 260

5.2.3.1 Services . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 260

5.2.3.2 Safety instructions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 260

5.2.3.3 Means of Transport . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 260

5.2.3.4 Fork-lift Attachment Points on the Transport Crate or Pallet . . . . . . . . . . . . . . . . 261

5.2.4 Transporting the Placement Machine Without a Crate or Pallet. . . . . . . . . . . . . . 261

5.2.4.1 Safety instructions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 261

5.2.4.2 Means of Transport . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 262

5.2.4.3 Fork Lift Attachment Points on the Placement Machine. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 262

5.2.4.4 Points to be Observed While Transporting the Machine . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 265

5.3 Delivery Configuration and Transportation of SWS. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .266

5.3.1 Shipping Packaging . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 266

5.3.1.1 Dimensions of Transportation Packaging. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 266

5.3.1.2 Weight of Machine When Ready For Dispatch. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 266

5.3.2 Transporting the SWS in a Crate . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 267

5.3.2.1 Services . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 267

5.3.2.2 Safety instructions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 267

5.3.2.3 Means of Transport . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 267

5.3.3 Transporting the SWS Without a Crate or Pallet . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 268

5.3.3.1 Safety instructions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 268

5.3.3.2 Means of Transport . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 268

5.3.3.3 Fork Lift Attachment Points on the SWS . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 269

5.3.3.4 Points to be Observed While Transporting the SWS . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 269

5.4 Infrastructure at the Installation Location. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .270

5.4.1 Recommendations for Foundation Quality . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 270

5.4.1.1 Machine Weight and Floor Loading . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 270

5.4.1.2 Vibration Limits . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 270

5.4.2 Compressed Air Supply . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 271

5.4.2.1 Checking the Compressed Air Supply . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 271

5.4.2.2 Compressed Air Connection on the Placement Machine. . . . . . . . . . . . . . . . . . . 272

5.4.3 Compressed Air Supply to SWS. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 273

5.4.4 Mains Supply to Placement Machine . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 273

5.4.4.1 Danger Notes . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 274

5.4.4.2 Checking the Mains Power Supply. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 274

5.4.4.3 Power Supply Cable - Specification . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 274

5.4.4.4 Connecting the Power Supply Cable . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 276

5.4.4.5 Checking the Inrush Current Limitation Jumpers . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 277

User Manual SIPLACE CA-Series Contents

From software version SC.708.0 Edition 12/2014 EN

5.5 Setting Up the Placement Machine . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 279

5.5.1 PCB Conveyor Height for Placement Machine . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 279

5.5.2 Warning Instructions. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 279

5.5.3 Tools and Equipment . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 280

5.5.4 Presetting Board Conveyor Height. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 281

5.5.4.1 Presetting the Height of the Middle Machine Feet . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 285

5.5.4.2 Presetting the Height of the Outer Machine Feet . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 287

5.5.5 Fitting the Extension Kits to the Machine Frame . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 289

5.5.5.1 Fitting the Extension Kit to the PCB Output Side . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 289

5.5.5.2 Fitting the Extension Kit to the PCB Input Side . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 289

5.5.6 Fitting the Output Conveyor . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 290

5.5.6.1 Tools . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .290

5.5.6.2 Assembly . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 290

5.5.7 Fitting the Extension Kit to the PCB Output Side . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 291

5.5.7.1 Tools . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .291

5.5.7.2 Assembly . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 292

5.5.7.3 Fastening the Hexagonal Shaft Guidance . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 295

5.5.7.4 Establishing Cable Connections - Extension Kit on the PCB Output Side. . . . . . 295

5.5.7.5 Fitting the Ground Cable for the Doors . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 295

5.5.7.6 Checking and Setting the Protective Cover Switch . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 296

5.5.7.7 Installing the Bottom Hand Guard . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 297

5.5.8 Installing the Axis Unit in the CA4 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 298

5.5.8.1 Axis Unit CA4 (Gantries 2 and 3) - Electrical Connection Points . . . . . . . . . . . . . 298

5.5.8.2 Axis Unit CA4 (Gantries 2 and 3) - Connecting the Plug . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 299

5.5.8.3 Fitting the Axis Unit . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 300

5.5.8.4 Fitting the Side Plates . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 300

5.5.9 Fitting the Input Conveyor . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 301

5.5.9.1 Tools . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .301

5.5.9.2 Assembly . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 301

5.5.10 Fitting the Extension Kit to the PCB Input Side . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 303

5.5.10.1 Tools . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .303

5.5.10.2 Assembly . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 303

5.5.10.3 Fastening the Hexagonal Shaft Guidance . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 306

5.5.10.4 Establishing Cable Connections - Extension Kit on the PCB Input Side . . . . . . . 306

5.5.10.5 Fitting the Ground Cable for the Doors . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 307

5.5.10.6 Checking and Setting the Protective Cover Switch . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 307

5.5.10.7 Installing the Bottom Hand Guard . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 308

5.5.11 Installing the Box PC Unit on the CA4 i . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 308

5.5.11.1 Box PC Unit - Electrical Connection Points . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 309

5.5.11.2 Box PC Unit for CA4 - Press-Fit Connections on the Front . . . . . . . . . . . . . . . . . 311

5.5.11.3 Box PC Unit for CA4 - Press-Fit Connections on the Back . . . . . . . . . . . . . . . . . 312

5.5.11.4 Fitting the Box PC Unit . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 312

5.5.11.5 Fitting the Side Plates . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 313

5.5.12 Installing the Computer Unit for the CA4 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 314

5.5.12.1 Computer Unit - Electrical Connection Points . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 314

5.5.12.2 Computer Unit for CA4 - Press-Fit Connections on the Front . . . . . . . . . . . . . . . 316

5.5.12.3 Computer Unit for CA4 - Press-Fit Connections on the Back . . . . . . . . . . . . . . . 317

5.5.12.4 Fitting the Computer Unit . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 317

5.5.12.5 Fitting the Side Plates . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 318