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第 3 章 导入篇 3- 3. 空气源的连接和真空 泵的运转 3 3- 3. 空气源的连接和真 空泵的运转 3-3-1. 总压缩空气源的 连接 将所需空气源导 入本机, 调整压力。 警告 关于工厂总压缩 空气,供给气 体  请务必使用压缩 空气,而不要 使用除此之外的流体 。  含有 大量水分的压缩空气会造 成装置运行故 障。请用户自行准备 空 气干燥器,排水 沟等水分去除 装置进行处理。  压缩空气内含有 化学药品,以 及含有机…

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3 导入篇
3-2.
电器系统的连接
3-2-3. 前工序机器和后工序机器的信号电缆连接
为了配合前后工序的机器和基板接送的时机等,连接相互间的信号电缆。
准备物品
与前工序机器及后工序机器的连接电缆(选购项):从以下 4 种电缆中选择。
本体侧
前工序侧,后工序侧
电缆长度
1 SMEMA 规格 AMP (14P)
插头
SMEMA 规格 AMP (14P) 插头 0.35m
2 1m 3m
3 MOLEX (4P) 插头 3m
4 用户规格 用户指定
连接器规格(单输送带
本机侧使用 AMP. 206043-114 极(14P))。
前工序机器
引脚编号
信号名称
信号方向
1 REQUEST (+) 本机→前工序装置
2 REQUEST () 本机→前工序装置
3 READY 本机 前工序装置
4 G24 本机 前工序装置
8 SHIELD
后工序机器
引脚编号
信号名称
信号方向
1 READY 本机 后工序装置
2 G24 本机 后工序装置
3 REQUEST (+) 本机→后工序装置
4 REQUEST () 本机→后工序装置
8 SHIELD
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3 导入篇
3-3.
空气源的连接和真空泵的运转
3
3-3. 空气源的连接和真空泵的运转
3-3-1. 总压缩空气源的连接
将所需空气源导入本机,调整压力。
警告
关于工厂总压缩空气,供给气
请务必使用压缩空气,而不要使用除此之外的流体
含有大量水分的压缩空气会造成装置运行故障。请用户自行准备
气干燥器,排水沟等水分去除装置进行处理。
压缩空气内含有化学药品,以及含有机溶剂的合成油,盐分,腐
性气体等物质时,会造成装置损坏和运行故障,请勿供给。
注意
工厂总气压请务必使用通过压缩空气净化装置供给 0.49MPa 0.92MPa
的干燥气
体。潮湿空气会对元件的吸附,安装造成不良影响,引起本机误动作。
从本机正面上方的小窗可以确认真空压力和供给压力。
(a)
VACUUM PRESSURE
显示本机内置真空泵的压力。
(b)
SUPPLIED AIR
显示供给到本机的气体通过减压阀后的压力。调整阀门,使供给空气源的压力为
0.49MPa(5kgf/cm
2
)
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3 导入篇
3-3.
空气源的连接和真空泵的运转
1
向上抬起空气装置过滤减压阀上的手柄,在能看到橙色线的状态下,向逆时针方向旋
转直至完全拧入,使之处于减压至 0Mpa 的状态。
2
将空气装置的总压缩气体引入用插头牢牢连接到工厂总压缩空气导管的插座上。
3
打开工厂总压缩空气侧的阀门,向本机输送压缩空气。
4
顺时针方向慢慢旋转空气装置,过滤减压阀的调压手柄,直至本机正面上方的
SUPPLIED AIR(b) 压力显示变为 0.49MPa
5
压力显示变为 0.49MPa (5 kgf/cm
2
) 后,锁住调压手柄。
注意
请用户自行准备连接到本体的 φ12mm 气导管和空气源的供给切断装置。
3-3-2. 真空泵的压力确
本机内置有真空泵,用于吸附元件。使真空泵运行。
1
接通本机背面的主断路器。
2
按下本机正面的 POWER ON 开关。
3
显示吸嘴头的操作画面。
关于操作方法的详情,请参阅4-9-2. 吸嘴头操作”。
显示吸嘴头操作画面后,真空泵将自动打开。
真空泵旋转,确认本机正面上方的 VACUUM PUMP 真空压力计显示为 -86.0kPa 以下。
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