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目录 QD029-26 x NXT 机械手册 7.13.3 用于料站托架 DC 电源的风扇 .............. 318 7.14 料盘单元 -L 伺服控制器的 电池 ........... 320 7.14.1 电池的种类 ............................. 320 7.14.2 更换方法 ............................... 320 7.15 料盘单元 -L 的 TY 轴·T…

QD029-26 目录
NXT 机械手册 ix
7.7.2 更换时期 ................................ 290
7.7.3 准备操作 ................................ 290
7.7.4 电池的更换方法 .......................... 290
7.7.5 更换后的各种设定 ........................ 292
7.8 吸嘴置放台萤光粘纸 .................... 293
7.8.1 更换时期 ................................ 293
7.8.2 更换方法 ................................ 293
7.9 模组内电路板的保险丝 .................. 295
7.9.1 模组远程控制 I/O 电路板 .................. 295
7.9.2 模组 I/F 电路板 / 模组插座电路板
( 模组控制箱内 )......................... 296
7.10 基座远程控制 I/O 电路板保险丝 ......... 297
7.10.1 远程控制 I/O 电路板 1 (8M 基座 ).......... 298
7.10.2 远程控制 I/O 电路板 2 (8M 基座 ).......... 299
7.10.3 远程控制 I/O 电路板 3 (8M 基座 ).......... 300
7.10.4 远程控制 I/O 电路板 4 (8M 基座 ).......... 301
7.10.5 远程控制 I/O 电路板 1 (4M 基座 ).......... 302
7.10.6 远程控制 I/O 电路板 2 (4M 基座 ).......... 303
7.10.7 远程控制 I/O 电路板 1 (2M 基座 ).......... 304
7.11 基座控制 I/F 电路板保险丝 ............. 305
7.11.1 基座控制 I/F 电路板 1 (8M 基座 ).......... 306
7.11.2 基座控制 I/F 电路板 2 (8M 基座 ).......... 307
7.11.3 基座控制 I/F 电路板 3 (8M 基座 ).......... 308
7.11.4 基座控制 I/F 电路板 4 (8M 基座 ).......... 309
7.11.5 基座控制 I/F 电路板 1 (4M 基座 ).......... 310
7.11.6 基座控制 I/F 电路板 2 (4M 基座 ).......... 311
7.11.7 基座控制 I/F 电路板 1 (2M 基座 ).......... 312
7.12 真空泵温度保险丝 ..................... 313
7.12.1 8M 基座 /4M 基座......................... 313
7.12.2 外接真空泵箱 ........................... 314
7.12.3 增加的真空泵箱 ......................... 315
7.13 冷却风扇 ............................. 316
7.13.1 模组用风扇 ............................. 316
7.13.2 基座用风扇 ............................. 317

目录 QD029-26
x NXT 机械手册
7.13.3 用于料站托架 DC 电源的风扇 .............. 318
7.14 料盘单元 -L 伺服控制器的电池 ........... 320
7.14.1 电池的种类 ............................. 320
7.14.2 更换方法 ............................... 320
7.15 料盘单元 -L 的 TY 轴·TZ 轴伺服放大器的
电池.................................. 322
7.15.1 更换时期 ............................... 322
7.15.2 更换方法 ............................... 322
7.16 料盘单元 -L 中转电路板的保险丝 ......... 323
7.16.1 更换方法 ............................... 323
7.17 料盘单元 -L 吸取器的海绵垫 ............. 324
7.17.1 更换时期 ............................... 324
7.17.2 更换方法 ............................... 324
7.18 料盘单元 -LT 伺服控制器的电池 .......... 325
7.18.1 电池的种类 ............................. 325
7.18.2 更换方法 ............................... 325
7.19 料盘单元 -LT 的 TY 轴·TZ 轴伺服放大器的
电池.................................. 327
7.19.1 更换时期 ............................... 327
7.19.2 更换方法 ............................... 327
7.20 料盘单元 -LT 中转电路板的保险丝 ........ 328
7.20.1 更换方法 ............................... 328
7.21 料盘单元 -M 控制电路板的保险丝 ......... 329
7.21.1 更换方法 ............................... 329
7.22 真空阀的吸气阀、排气阀、垫圈等 ........ 330
7.22.1 更换时期 ............................... 330
7.22.2 准备物品 ............................... 330
7.22.3 更换方法 ............................... 330
8. 部件的更换 ............................... 339
8.1 元件相机的更换 ......................... 339
8.1.1 必要工具 ................................ 339
8.1.2 操作时间 ................................ 339
8.1.3 更换方法 ................................ 339
8.2 定位相机的更换 ......................... 343

QD029-26 目录
NXT 机械手册 xi
8.2.1 必要工具 ................................ 343
8.2.2 操作时间 ................................ 343
8.2.3 更换方法 ................................ 343
8.3 不良元件排出单元的更换 ................ 346
8.3.1 操作时间 ................................ 346
8.3.2 更换方法 ................................ 346
8.4 废料带处理单元的更换 .................. 348
8.4.1 必要工具 ................................ 348
8.4.2 操作时间 ................................ 348
8.4.3 更换方法 ................................ 348
8.5 模组伺服箱的更换 ...................... 351
8.5.1 必要工具 ................................ 351
8.5.2 M6(S) 模组的时候......................... 351
8.5.3 M3(S) 模组的时候......................... 353
8.6 模组控制箱的更换 ...................... 356
8.6.1 必要工具 ................................ 356
8.6.2 M6(S) 模组的时候......................... 356
8.6.3 M3(S) 模组的时候......................... 358
8.7 模组 CPU 箱的更换 ...................... 360
8.7.1 必要工具 ................................ 360
8.7.2 准备操作 ................................ 360
8.7.3 更换方法 ................................ 361
8.7.4 更换后的各种设定 ........................ 362
8.8 基座控制箱 1 的更换 .................... 364
8.8.1 必要工具 ................................ 364
8.8.2 8M 基座的时候............................ 364
8.8.3 4M 基座的时候............................ 366
8.9 基座控制箱 2 的更换 .................... 368
8.9.1 必要工具 ................................ 368
8.9.2 8M 基座的时候............................ 368
8.9.3 4M 基座的时候............................ 370
8.10 基座控制箱 3 的更换 ................... 372
8.10.1 必要工具 ............................... 372
8.10.2 仅限于 8M 基座 .......................... 372