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6. 预防保养 QD029-26 178 NXT 机械手册 单搬运轨 道 电路板夹紧部 （夹紧轨道 和夹紧销等） -- - ★ - - - 1 5 传送带张力 - - - - - ▲ ▲ *6 30 搬运轨道传送带 - - - - - - ● *6 软支撑销 - - - - - - ● *6 宽度变更 LM 导向槽 - - - - - ★ - 10 宽度变更滚珠丝杆 - - - - - ★ - 10 单搬运轨 道S CZ 轴滚珠丝杆 -…
QD029-26 6. 预防保养
NXT 机械手册 177
H12(S) 工
作头
Z 轴滚珠丝杆 - - - - - ★ - 10
Z 轴导向往复臂 - - - - - ★ - 10
步进马达部分的凸轮 - - - - - ★ - 10
Q 轴齿轮 ( 上部马达侧 ) - - - - - ★ - 5
Q 轴齿轮 ( 上部注油筒侧 ) - ★ - - - - - 5
R 轴齿轮 - - - - - ★ - 5
机械阀的 O 型圈 - ▲ - - - ▲
★
-60
10
注油筒和注油筒内 O 型圈 - ●
★
-- - - - 15
10
真空过滤器 - ● - - ▲ - - 20
旋转臂轴 - - - ★ - - - 5
H12HS 工作
头
Z 轴滚珠丝杆 - - - - - ★ - 10
Z 轴导向往复臂 - - - - - ★ - 10
步进马达部分的凸轮 - - - - - ★ - 10
Q 轴齿轮 ( 上部马达侧 ) - - - - - ★ - 5
Q 轴齿轮 ( 上部注油筒侧 ) - ★ - - - - - 5
R 轴齿轮 - - - - - ★ - 5
机械阀的 O 型圈 - ▲ - - - ▲
★
-60
10
注油筒和注油筒内 O 型圈 - ●
★
-- - - - 15
10
真空过滤器 - ● - - ▲ - - 20
旋转臂轴 - - - ★ - - - 5
双搬运轨
道
电路板夹紧部 （夹紧轨道
和夹紧销等）
---★- - - 15
传送带张力 - - - - - ▲ ▲ *6 30
搬运轨道传送带 - - - - - - ● *6
软支撑销 - - - - - - ● *9
宽度变更 LM 导向槽 - - - - - ★ - 10
宽度变更滚珠丝杆 - - - - - ★ - 10
维修保养项目
（●：清扫、★：加油、▲：检查更换）
每周
(160h)
每1月
每3月
每6月
每1年
每 12,000
时间
不定期
操作时间
(分)
6. 预防保养 QD029-26
178 NXT 机械手册
单搬运轨
道
电路板夹紧部 （夹紧轨道
和夹紧销等）
---★- - - 15
传送带张力 - - - - - ▲ ▲ *6 30
搬运轨道传送带 - - - - - - ● *6
软支撑销 - - - - - - ● *6
宽度变更 LM 导向槽 - - - - - ★ - 10
宽度变更滚珠丝杆 - - - - - ★ - 10
单搬运轨
道S
CZ 轴滚珠丝杆 - - - - - ★ - 15
宽度变更 LM 导向槽 - - - - - ★ - 10
宽度变更滚珠丝杆 - - - - - ★ - 10
搬运轨道传送带张力 - - - - - ▲ ▲ *6 10
搬运轨道传送带 - - - - - - ● *6
软支撑销 - - - - - - ● *9
CZ 轴传送带张力 - - - - - ▲ - 10
宽度变更传送带张力 - - - - - ▲ - 10
宽度变更滚珠丝杆 - - - - - ▲ - 10
XY 机械手
〈M3(S)〉
X 轴齿轮 - - - ★ - - - 2
X 轴滚珠丝杆 - - - ★ - - - 5
Y 轴滚珠丝杆 - - - ★ - - - 5
X轴LM导轨 - - - ★ - - - 5
Y轴LM导轨 - - - ★ - - - 5
XS 轴齿轮 - - - ★ - - - 2
XS 轴滚珠丝杆 - - - ★ - - - 5
XS轴LM导轨 - - - ★ - - - 5
XY 轴平型电缆 - - - ★ - - - 10
XY 机械手
〈M6S〉
X 轴齿轮 - - - ★ - - - 2
X 轴滚珠丝杆 - - - ★ - - - 5
X轴LM导轨 - - - ★ - - - 5
Y轴LM导轨 - - - ★ - - - 5
XY 轴平型电缆 - - - ★ - - - 10
维修保养项目
（●：清扫、★：加油、▲：检查更换）
每周
(160h)
每1月
每3月
每6月
每1年
每 12,000
时间
不定期
操作时间
(分)
QD029-26 6. 预防保养
NXT 机械手册 179
XY 机械手
〈M6〉
X 轴齿轮 - - - ★ - - - 2
X 轴滚珠丝杆 - - - ★ - - - 5
Y 轴滚珠丝杆 - - - ★ - - - 5
X轴LM导轨 - - - ★ - - - 5
Y轴LM导轨 - - - ★ - - - 5
XY 轴平型电缆 - - - ★ - - - 10
定位相机 光源内板透镜面 - - - - ● - - 3
元件相机 玻璃罩面 ● - - - - - - 2
光源内玻璃面 ● - - - - - - 2
废料带处
理单元
切刀 - - - - - - ● *7 20
输送槽 - - - - - - ● *8 15
LM 导轨 - - - - - ★ - 20
主体 模组内部 ● - - - - - - 2
基座·模组支持面 - - ★ - - - - 5
空气调节器 - - - - ● - - 15
湿气分离器 - - - - - ● - 15
真空泵过滤器 - - - - - ● - 15
不良元件
排出单元
搬运轨道皮带 - ● - - - - - 5
料盘单元 -
L
搬运轨道皮带 - ● - - - - - 5
往复臂皮带 - ● - - - - - 5
控制箱空气过滤器 - - - - - ● - 10
TZ 轴滚珠丝杆 - - - - - ★ - 10
升降部齿轮 - - - - - ★ - 10
TZ 轴皮带张力 - - - - - ▲ - 10
TY 轴皮带张力
（往复臂部）
----- ▲- 10
TY 轴皮带张力
（驱动部）
----- ▲- 10
维修保养项目
（●：清扫、★：加油、▲：检查更换）
每周
(160h)
每1月
每3月
每6月
每1年
每 12,000
时间
不定期
操作时间
(分)