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QD029-26 6. 预防保养 NXT 机械手册 217 1. 拆下贴装工作头。（详细请参考 " 5.7 贴装工作头的拆除 / 安装 "。) 2. 请从工作头上部的孔中插入 M3 用的扳手，旋转 Z 轴后移动吸嘴到下降端。 3. 请拆除侧面的盖板。 4. 如图所示拆除螺栓，使托架松动。备注 )请用短的扳钳拆除螺栓。 ᡇ᠟ 1;73+'6 Ⲫᵓ 1;73+'6

6. 预防保养 QD029-26

216 NXT 机械手册

〈单搬运轨道〉

13.安装备份板。

14.插入模组。（参考 " 5.1 模组的拉出 / 插入 "）

6.7.5 H01 工作头内空心轴 Assy 的清扫〈仅限于不搭载法兰盘过滤器时〉

在法兰盘部装备有过滤器的时候，不必清扫空心轴 Assy。

在清扫时，为了防止在操作中丢失以下部件，推荐对以下部件各自准备 2 个。

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QD029-26 6. 预防保养

NXT 机械手册 217

1. 拆下贴装工作头。（详细请参考 " 5.7 贴装工作头的拆除 / 安装 "。)

2. 请从工作头上部的孔中插入 M3 用的扳手，旋转 Z 轴后移动吸嘴到下降端。

3. 请拆除侧面的盖板。

4. 如图所示拆除螺栓，使托架松动。

备注 )请用短的扳钳拆除螺栓。

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6. 预防保养 QD029-26

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5. 请用专用治具固定。使齿轮孔可以卡住凸出部安装治具。

6. 在固定 Q 轴齿轮的状态下，松开空心轴 Assy 的固定。

7. 请从贴装工作头上拔出空心轴 Assy。

备注 )此时请注意安装在空心轴 Assy 上的垫脱落后丢失。

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