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4. 传感器配置图 QD029-26 76 NXT 机械手册 4.13.2 料盘塔 ※上述地址未显示在「I/O Monitor」上。 No. 地址信号名传感器名 1 IN1F 下部料盘箱锁定确认 - 2 IN1E 上部料盘箱锁定确认 - 3 IN1C 上部料盘箱设置确认 - 4 IN1D 下部料盘箱锁定确认 - 5 IN22 上部料盘箱料盘高度确认（左） - 6 IN23 上部料盘箱料盘高度确认（右） - 7 …

QD029-26 4. 传感器配置图

NXT 机械手册 75

4.13 料盘单元 -LT 传感器

4.13.1 安全门

※上述地址未显示在「I/O Monitor」上。

No. 地址信号名传感器名

1 IN00 紧急停止 SW -

2 IN06 上部料盘箱安全门关闭确认 -

3 IN07 下部料盘箱安全门关闭确认 -

No. 地址信号名传感器名

4 X206 上部料盘箱结束 PB 输入 -

5 X209 下部料盘箱结束 PB 输入 -

01MEC-0222a

Tray unit-LT

4. 传感器配置图 QD029-26

76 NXT 机械手册

4.13.2 料盘塔

※上述地址未显示在「I/O Monitor」上。

No. 地址信号名传感器名

1 IN1F 下部料盘箱锁定确认 -

2 IN1E 上部料盘箱锁定确认 -

3 IN1C 上部料盘箱设置确认 -

4 IN1D 下部料盘箱锁定确认 -

5 IN22 上部料盘箱料盘高度确认（左） -

6 IN23 上部料盘箱料盘高度确认（右） -

7 IN24 下部料盘箱料盘高度确认（左） -

8 IN25 下部料盘箱料盘高度确认（右） -

9 IN21 托架收存确认 -

10 IN20 料盘箱干涉确认 -

Tray unit-LT

QD029-26 4. 传感器配置图

NXT 机械手册 77

4.13.3 往复臂

※上述地址未显示在「I/O Monitor」上。

No. 地址信号名传感器名

1 OUT20 往复臂开关夹紧 -

2 IN10 往复臂后退端 -

3 IN12 往复臂打开确认 -

4 IN2E 往复臂夹紧确认 -

5 IN2E 元件废弃箱落座确认 -

6 IN13 往复臂料盘高度监视（上） -

7 IN14 往复臂料盘高度监视（中） -

8 IN15 往复臂料盘高度监视（下） -

01MEC-0224a

Tray unit-LT