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QD029-26 6. 预防保养 NXT 机械手册 225 6.9 每 12000 小时的操作 请进行以下的加油。 6.9.1 湿气分离器的清扫 1. 拉 出模组。 （参考 " 5. 1 模组的拉出 / 插入 "） 2. 请将主电源开关 OFF。 3. 取下基座上的盖板。 4. 关闭气源接入处的外部气源，此时配管 内气压降低。 5. 拧松安装螺栓，拆下滤芯 Assy。 6. 使用压缩空气吹气清扫滤芯，污垢严重 时，请…

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6. 预防保养 QD029-26
224 NXT 机械手册
6.8.3 定位相机中的半透镜的清扫
1. 拉出模组。（参考 " 5.1 模组的拉出 / 插入 "）
2. 使用清洁纸和 （A4565T）或者外卖的擦眼镜用纸或者棉花棒，将定位相机光源内的半透
镜面的污垢擦去。
6.8.4 贴装工作头真空过滤器的更换 〈H04、H08、H12(S)、H12HS〉
请将贴装工作头真空过滤器与新品进行更换。（关于更换步骤，请 " 6.5.4 贴装工作头真空
过滤器的清扫 "）
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QD029-26 6. 预防保养
NXT 机械手册 225
6.9 每 12000 小时的操作
请进行以下的加油。
6.9.1 湿气分离器的清扫
1. 拉出模组。（参考 " 5.1 模组的拉出 / 插入 "）
2. 请将主电源开关 OFF。
3. 取下基座上的盖板。
4. 关闭气源接入处的外部气源，此时配管内气压降低。
5. 拧松安装螺栓，拆下滤芯 Assy。
6. 使用压缩空气吹气清扫滤芯，污垢严重时，请更换新的部品。
6. 预防保养 QD029-26
226 NXT 机械手册
6.9.2 真空泵过滤器的清扫
1. 拉出模组。（参考 " 5.1 模组的拉出 / 插入 "）
2. 请将主电源开关 OFF。
3. 取下基座上的盖板。
4. 将真空布管内设定为大气压。
5. 拧松螺栓，拆除过滤器套。
6. 将滤芯从主体上拆下来。
7. 用中性洗涤剂清洗过滤器套。
8. 用压缩空气吹气清扫滤芯或者在污垢严重时更换新的部品。