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QD029-26 4. 传感器配置图 NXT 机械手册 59 4.5 XY 机械手传感器 4.5.1 M3(S) 模组 NXTSEN006 No. 地址 信号名 传感器名 1 X005 XS 轴联锁 1 XS-axis interl ock 1 2 X006 XS 轴联锁 2 XS-axis interl ock 2 3 X007 XS 轴联锁 3 XS-axis interl ock 3
4. 传感器配置图 QD029-26
58 NXT 机械手册
4.4 模组主体传感器
N0. 地址 信号名 传感器名
1 RX000 元件真空压力确认 Part vacuum
2 RX002 空气压力确认 Air pressure
3 RX01D 相邻模组松开确认 Paired module unlock check
4 X01A 模组冷却风扇正常 Module cooling fan
QD029-26 4. 传感器配置图
NXT 机械手册 59
4.5 XY 机械手传感器
4.5.1 M3(S) 模组
NXTSEN006
No. 地址 信号名 传感器名
1 X005 XS 轴联锁 1 XS-axis interlock 1
2 X006 XS 轴联锁 2 XS-axis interlock 2
3 X007 XS 轴联锁 3 XS-axis interlock 3
4. 传感器配置图 QD029-26
60 NXT 机械手册
4.5.2 M6S 模组
NXTSEN043
1
No. 地址 信号名 传感器名
1 RX00B Y 轴线性马达温度正常 Y-axis linear motor
temperature OK