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QD029-26 8. 部件的更换 NXT 机械手册 385 8.13.3 外接控制箱 1. 将 主电源开关 OFF。 2. 取下盖板。 3. 确认真空泵控制箱的位置, 拆除连接在控制箱支架上的插头 (MSICN1、 MSICN2、 MSICN3)。 4. 拆除固定真空控制箱的螺栓 (2 根 )。 5. 从基座中取出控制箱。 6. 以拆除新的真空控制箱的相反的步骤安 装模组主体。

8. 部件的更换 QD029-26
384 NXT 机械手册
3. 确认真空泵控制箱的位置,拆除连接在控制箱支架上的插头 (MSICN1、MSICN2、MSICN3)。
4. 拆除固定真空控制箱的螺栓 (2 根 )。
5. 从基座中取出控制箱。
6. 以拆除新的真空控制箱的相反的步骤安装模组主体。

QD029-26 8. 部件的更换
NXT 机械手册 385
8.13.3 外接控制箱
1. 将主电源开关 OFF。
2. 取下盖板。
3. 确认真空泵控制箱的位置,拆除连接在控制箱支架上的插头 (MSICN1、MSICN2、MSICN3)。
4. 拆除固定真空控制箱的螺栓 (2 根 )。
5. 从基座中取出控制箱。
6. 以拆除新的真空控制箱的相反的步骤安装模组主体。

8. 部件的更换 QD029-26
386 NXT 机械手册
8.13.4 增设真空泵控制箱
1. 将主电源开关 OFF。
2. 取下盖板。
3. 确认真空泵控制箱的位置,拆除连接在控制箱支架上的插头 (MSICN1、MSICN2、MSICN3)。
4. 拆除固定真空控制箱的螺栓 (2 根 )。
5. 从基座中取出控制箱。
6. 以拆除新的真空控制箱的相反的步骤安装模组主体。