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6. 预防保养 QD029-26 226 NXT 机械手册 6.9.2 真空泵过滤器的清扫 1. 拉 出模组。 （参考 " 5. 1 模组的拉出 / 插入 "） 2. 请将主电源开关 OFF。 3. 取下基座上的盖板。 4. 将真空布管内设定为大气压。 5. 拧松螺栓，拆除过滤器套。 6. 将滤芯从主体上拆下来。 7. 用中性洗涤剂清洗过滤器套。 8. 用压缩空气吹气清扫滤芯或者在污垢严重 时更换新的部品。

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QD029-26 6. 预防保养
NXT 机械手册 225
6.9 每 12000 小时的操作
请进行以下的加油。
6.9.1 湿气分离器的清扫
1. 拉出模组。（参考 " 5.1 模组的拉出 / 插入 "）
2. 请将主电源开关 OFF。
3. 取下基座上的盖板。
4. 关闭气源接入处的外部气源，此时配管内气压降低。
5. 拧松安装螺栓，拆下滤芯 Assy。
6. 使用压缩空气吹气清扫滤芯，污垢严重时，请更换新的部品。
6. 预防保养 QD029-26
226 NXT 机械手册
6.9.2 真空泵过滤器的清扫
1. 拉出模组。（参考 " 5.1 模组的拉出 / 插入 "）
2. 请将主电源开关 OFF。
3. 取下基座上的盖板。
4. 将真空布管内设定为大气压。
5. 拧松螺栓，拆除过滤器套。
6. 将滤芯从主体上拆下来。
7. 用中性洗涤剂清洗过滤器套。
8. 用压缩空气吹气清扫滤芯或者在污垢严重时更换新的部品。
QD029-26 6. 预防保养
NXT 机械手册 227
6.9.3 料盘单元 -L 空气过滤器的清扫
1. 拧下 M5 螺栓 （2 根 )，拆下制动器盖罩。
2. 拆下树脂框。
3. 取出过滤器。
4. 吹入压缩空气清扫过滤器或者在污垢严重时更换新的部件。
注意
风扇动作中不能进行操作。有被风扇卷入的危险。
运转中不能进行操作。因为在制动器盖罩被拆下时进行操作，有可能被 TZ 轴驱动部分
夹住手。