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第 4 章 操作 篇 4- 3. 自动运转 的步骤 27 4 各类警报功能按钮 的操作 定位 标手动 位置校准 基板检查时,在 发 生 定位 标 自 动识别错误 , 中止检查执 行处 理的情况下,通 过 手 动 指定定位 标 位置, 重新开始检查执行处 理。 触摸箭头按钮,将定位 标的矩形对 准目 标位置,然后触 摸[ OK ]。 触摸[ RES ET ]后,触摸 [ START ],可重新开始检 查执行处理。 选择 AB 面 …

第 4 章 操作篇
4-3. 自动运转的步骤
26
4-3-8.
警报显示
(a)
发生日期时间:
显示警报发生的日期。
对象
:
显示警报发生的轨道。
警报代码
:
显示警报代码。
详细:
显示警报的详细信息(错误消息)。
可能原因
显示推定原因。
处理方法
显示应对方法。
(b)
设定显示颜色
变更显示警报时的背景色。
可以选择的颜色为
[
基本颜色
](15
种颜色
)
,或者
[
做成颜色
](
输
入
RGB
值
)
。
(c)
OFF
关闭蜂鸣器。
(d)
关闭
关闭警报画面。
a
d
b
c

第 4 章 操作篇
4-3. 自动运转的步骤
27
4
各类警报功能按钮的操作
定位标手动位置校准
基板检查时,在发生定位标自动识别错误,中止检查执行处理的情况下,通过手动指定定位标位置,
重新开始检查执行处理。
触摸箭头按钮,将定位标的矩形对准目标位置,然后触摸[
OK
]。
触摸[
RESET
]后,触摸[
START
],可重新开始检查执行处理。
选择
AB
面识别符的手动面
发生
AB
面识别符错误时,指定运转面后重新进行识别。
触摸[
AB
面选择]。

第 4 章 操作篇
4-3. 自动运转的步骤
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在[
AB
面选择]画面中,选择检查基板的[
A
面],[
B
面]任意一面。
触摸[
RESET
]后,触摸[
START
],可重新开始检查执行处理。
基板序列码的手动输入
发生基板序列码错误时,重新输入基板序列码。
触摸[输入基板序列码]。