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第 4 章 操作 篇 4- 8. 维护 255 4 分类 详细 ・ 单位 初始值 输入范围 ・ 项目 返回原点时的 速度 设定 速度 X[mm/s] 20 1 ～ 999 （整数） 速度 Y[mm/s] 20 1 ～ 999 （整数） 加速度 X[m/s 2 ] 1.000 0.000 ～ 99.999 （小数点以下 3 位） 加速度 Y[m/s 2 ] 1.000 0.000 ～ 99.999 （小数点以下 3 位） 减速度 X[m/…

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第 4 章 操作篇
4-8. 维护
254
分类
详细，单位
初始值
输入范围，项目
微动中速移动时的速度
设定
速度
X [mm/s]
5
1
至
999
（整数）
速度
Y [mm/s]
5
1
至
999
（整数）
加速度
X [m/s
2
]
1.000
0.000
至
99.999
（小数点后
3
位）
加速度
Y [m/s
2
]
1.000
0.000
至
99.999
（小数点后
3
位）
减速度
X [m/s
2
]
1.000
0.000
至
99.999
（小数点后
3
位）
减速度
Y [m/s
2
]
1.000
0.000
至
99.999
（小数点后
3
位）
微动低速移动时的速度
设定
速度
X [mm/s]
1
1
至
999
（整数）
速度
Y [mm/s]
1
1
至
999
（整数）
加速度
X [m/s
2
]
1.000
0.000
至
99.999
（小数点后
3
位）
加速度
Y [m/s
2
]
1.000
0.000
至
99.999
（小数点后
3
位）
减速度
X [m/s
2
]
1.000
0.000
至
99.999
（小数点后
3
位）
减速度
Y [m/s
2
]
1.000
0.000
至
99.999
（小数点后
3
位）
加减速时的
S
形比率
X
轴
[%]
100
0
至
100
（整数）
Y
轴
[%]
100
0
至
100
（整数）
超时
轴移动超时
[s]
60.000
-999.999
至
999.999
（小数点后
3
位）
释放基板时的退避位置
X [mm]
250.000
软件极限偏移（补正）下限
X
至上限
X
（小数点后
3
位）
Y [mm]
300.000
软件极限偏移（补正）下限
X
至上限
Y
（小数点后
3
位）
第 4 章 操作篇
4-8. 维护
255
4
分类
详细
・
单位
初始值
输入范围
・
项目
返回原点时的速度设定
速度
X[mm/s]
20
1
～
999
（整数）
速度
Y[mm/s]
20
1
～
999
（整数）
加速度
X[m/s
2
]
1.000
0.000
～
99.999
（小数点以下
3
位）
加速度
Y[m/s
2
]
1.000
0.000
～
99.999
（小数点以下
3
位）
减速度
X[m/s
2
]
1.000
0.000
～
99.999
（小数点以下
3
位）
减速度
Y[m/s
2
]
1.000
0.000
～
99.999
（小数点以下
3
位）
基板搜索时的速度设定
速度
X[mm/s]
400
1
～
999
（整数）
速度
Y[mm/s]
400
1
～
999
（整数）
加速度
X[m/s
2
]
10.000
0.000
～
99.999
（小数点以下
3
位）
加速度
Y[m/s
2
]
7.500
0.000
～
99.999
（小数点以下
3
位）
减速度
X[m/s
2
]
10.000
0.000
～
99.999
（小数点以下
3
位）
减速度
Y[m/s
2
]
7.500
0.000
～
99.999
（小数点以下
3
位）
第 4 章 操作篇
4-8. 维护
256
摄像机
(a)
块捕获
触摸按钮后，可以选择通用画面的物理照明以及利用照明级别拍
摄块区图像，获取拍摄时间后显示在［拍摄时间］文本框中。
(b)
拍摄时间
指定拍摄时间。
b
a