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第 3 章 导入篇 3- 1. 安装 8 3-1- 4. 取下固定托架 导入时,应拆除固定本 机 XY 轴移动零件的托架 。 请拆下固定 X 轴与照明摄像 机装置的托架,以及固 定 Y 轴与 X 轴的托架和内六角 孔螺栓。 请妥善保管取下的托架 。 X 轴 固定托架 Y 轴 固定托架

第 3 章 导入篇
3-1. 安装
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3
2
为了配合本机前工序和后工序的基板搬送高度,用扳手旋转底部 4 个脚的六角螺母来
调整基板搬送高度。
向右旋转为上升,向左旋转为下降。
注意
•
脚高度调整用六角螺母的
2
面宽度为
65mm
。
3
使用扳手旋转各脚的六角螺母进行微调,以确保 X 轴和 Y 轴的水平器显示的水平度在
0.05mm
以下(1 刻度为 0.02mm 的水平器为 2 刻度以下,1 刻度为 0.05mm 的水平
器为 1 刻度以下)。

第 3 章 导入篇
3-1. 安装
8
3-1-4.
取下固定托架
导入时,应拆除固定本机
XY
轴移动零件的托架。
请拆下固定
X
轴与照明摄像机装置的托架,以及固定
Y
轴与
X
轴的托架和内六角孔螺栓。
请妥善保管取下的托架。
X
轴固定托架
Y
轴固定托架

第 3 章 导入篇
3-1. 安装
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3
监视器固定支架