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第 4 章 操作 篇 4- 8. 维护 269 4 到达位置 基板传感器（ Hea d 右） 基板传感器（ Hea d 左） • 触摸［移动至 到达 位置］、［移动至 减速位 置］，将基板传感器移 动到指定的位置。 设定 分类 详细 ・ 单位 初始值 输入范围 ・ 项目 到达位置左 X[mm] 0.000 0.000 ～ 999.999 （小数点以下 3 位） Y[mm] 25.000 0.000 ～ 999.999 （小数点以下 …
第 4 章 操作篇
4-8. 维护
268
分类
详细、单位
初始值
输入范围、项目
设定低速搬送时的速度
速度
[mm/s]
100.000
0.000
至
999.999
（小
数点后
3
位）
加速度
[mm/s
2
]
250.000
0.000
至
9999.999
（小数点后
3
位）
减速度
[mm/s
2
]
500.000
0.000
至
9999.999
（小数点后
3
位）
设定搬出
/
搜索时的速度
速度
[mm/s]
250.000
0.000
至
999.999
（小
数点后
3
位）
加速度
[mm/s
2
]
200.000
0.000
至
9999.999
（小数点后
3
位）
减速度
[mm/s
2
]
500.000
0.000
至
9999.999
（小数点后
3
位）
超时
支撑动作
[s]
3
0
至
1000
（整数）
挡块动作
[s]
3
0
至
1000
（整数）
夹具动作
[s]
3
0
至
1000
（整数）
基板搬入
[s]
10
0
至
1000
（整数）
基板搬出
[s]
10
0
至
1000
（整数）
基板搜索
[s]
6
0
至
1000
（整数）
装置之间的接口
上游装置
Sony
Sony
Smema
下游装置
Sony
Sony
Smema
双重设定
搬送模式
单一模式
单一模式
第 4 章 操作篇
4-8. 维护
269
4
到达位置
基板传感器（
Head
右）
基板传感器（
Head
左）
•
触摸［移动至到达位置］、［移动至减速位
置］，将基板传感器移动到指定的位置。
设定
分类
详细
・
单位
初始值
输入范围
・
项目
到达位置左
X[mm]
0.000
0.000
～
999.999
（小数点以下
3
位）
Y[mm]
25.000
0.000
～
999.999
（小数点以下
3
位）
减速距离
[mm]
50.000
0.000
～
999.999
（小数点以下
3
位）
到达位置右
X[mm]
400.000
0.000
～
999.999
（小数点以下
3
位）
Y[mm]
25.000
0.000
～
999.999
（小数点以下
3
位）
减速距离
[mm]
50.000
0.000
～
999.999
（小数点以下
3
位）
第 4 章 操作篇
4-8. 维护
270
汽缸
挡块
支撑
夹具固定
•
触摸［上升］，［下降］后，对应的轴开始动作。
•
将同时测量和显示上升时间，下降时间。