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第 2 章 系统概要 2- 3. 机器的构成 19 2 (a) 紧急停止开关 (b) POWER ON 开关 / 电源指示灯 (c) POW ER OFF 开关 (d) 联锁钥匙开关 2-3- 5. 主要 开关的作用 紧 急停止开关 按下紧急停止 开关 后进入紧急停止状 态,切断装置的电 源。 顺时针旋转紧急停止 开关 ,开关部分 回到初始位置(按 下开关 的状 态)后即可解除。 紧急 停止解除 b c d a

第 2 章 系统概要
2-3. 机器的构成
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2-3-4.
操作按钮、连接器等各部的名称
(a)
前后工序机器用
I/F
电缆插入口
(b) OK/NG
信号电缆插入口
(c)
强制传送按键开关
(d)
强制传送按键开关
(e)
强制传送按键开关
(f)
原始气压显示
/
传感器
(g)
计时器
(h) LAN
电缆插口
g
f
h
b
e
d
c
a

第 2 章 系统概要
2-3. 机器的构成
19
2
(a)
紧急停止开关
(b) POWER ON
开关
/
电源指示灯
(c) POWER OFF
开关
(d)
联锁钥匙开关
2-3-5.
主要开关的作用
紧急停止开关
按下紧急停止开关后进入紧急停止状态,切断装置的电源。
顺时针旋转紧急停止开关,开关部分回到初始位置(按下开关的状态)后即可解除。
紧急停止解除
b
c
d
a

第 2 章 系统概要
2-3. 机器的构成
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联锁钥匙开关
切换联锁的有效
/
无效。运转时拨到
ON
一侧,钥匙请由安全管理人员管理。
ON
联锁有效。
OFF
联锁无效。维护等情况下需要打开盖子时,请将联锁拨到
OFF
一侧。
注意
为防止危险,联锁 OFF 下的作业请由安全管理责任人员或在安全管理责
任人员在场的情况下进行。
强制传送开关(选配)
由于装置故障等导致操作开关无法使用时,可以通过传送操作搬送基板。使用强制传送时,请将钥
匙开关旋转至
START
位置。通常,请设为
STOP
位置,钥匙由安全管理责任人员保管。
STOP
PASS
START