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第 6 章 附录 6- 1. 故障排除 13 6 警报代码 错误内容 原因 应对方法 0xA10000 2C 夹紧动作超时 ① 夹紧气缸的动作不 良。 ② 夹紧传感器的反应不 良。 ③ 超时时间较短。 ① 请调整夹紧气缸使 其动作正确。 ② 请调整夹紧传感器 使其反应正确。 ③ 请重新修改设定超 时时间。 0xA10000 2D 基板搬入动作 超时 ① 搬送过程中,基板被 卡住了。 ② 超时时间较短。 ① 请将搬送间隙设定 大一些。 ②…

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6 附录
6-1. 故障排除
12
警报代码
错误内容
原因
应对方法
0xA1000023
右侧基板传感器检测(
通道)
(1)
有基板。
(2)
有异物。
(3)
传感器反应不良。
(1)
请取下基板。
(2)
请清除异物。
(3)
请调整传感器,使
其能够正常反应。
0xA1000024
左侧基板传感器检测(
通道)
0xA1000025
减速传感器检测(前通
道)
(1)
有基板。
(2)
有异物。
(3)
检测到刮刀。
(4)
传感器反应不良。
(1)
请取下基板。
(2)
请清除异物。
(3)
请调整传感器,使
其检测不到刮刀。
(4)
请调整传感器,使
其能够正常反应。
0xA1000026
到达传感器感知(前通
道)
0xA1000027
右侧基板传感器检测(
通道)
(1)
有基板。
(2)
有异物。
(3)
传感器反应不良。
(1)
请取下基板。
(2)
请清除异物。
(3)
请调整传感器,使
其能够正常反应。
0xA1000028
左侧基板传感器检测(
通道)
0xA1000029
减速传感器检测(后通
道)
(1)
有基板。
(2)
有异物。
(3)
检测到刮刀。
(4)
传感器反应不良。
(1)
请取下基板。
(2)
请清除异物。
(3)
请调整传感器,使
其检测不到刮刀。
(4)
请调整传感器,使
其能够正常反应。
0xA100002A
到达传感器检测(后通
道)
0xA100002B
搬入过程中,搬出口传
器感知
由于基板到达传感器
未感知,导致基板到达
了搬出口。
搬入过程中,搬出口
传感器发生了感知。
请检查搬出口一端
6 附录
6-1. 故障排除
13
6
警报代码
错误内容
原因
应对方法
0xA100002C
夹紧动作超时
夹紧气缸的动作不
良。
夹紧传感器的反应不
良。
超时时间较短。
请调整夹紧气缸使
其动作正确。
请调整夹紧传感器
使其反应正确。
请重新修改设定超
时时间。
0xA100002D
基板搬入动作超时
搬送过程中,基板被
卡住了。
超时时间较短。
请将搬送间隙设定
大一些。
请重新修改设定超
时时间。
0xA100002E
基板搬出动作超时
0xA100002F
基板搜索超时
0xA1000030
右基板传感器感知
有基板。
有异物。
传感器的反应不良。
请取出基板。
请去除异物。
请调整传感器使其
反应正常。
0xA1000031
左基板传感器感知
0xA1000032
基板传感器(
Head
)感
0xA1000033
基板传感器(
Head
左)
感知
0xA1000034
基板传感器(
Head
右)
感知
0xA1000035
支撑
1
动作超时
支撑未被连接。
支撑气缸的动作不
良。
支撑传感器的反应不
良。
超时时间较短。
请连接支撑,确认
动作正常。
请调整使支撑气缸
动作正常。
请调整使支撑传感
器反应正常。
请重新修改设定超
时时间。
0xA1000036
支撑
2
动作超时
0xA1100000
检测到输送带轴的错误
检测到输送带轴的错误
信号。
如果重新接通装置电
源后情况仍未改善,
请咨询本公司服务窗
口。
0xA1100001
检测到输送带轴的
FSSTOP
信号
检测到输送带轴的紧急
停止信号。
6 附录
6-1. 故障排除
14
警报代码
错误内容
原因
应对方法
0xA2000001
X
CW
限位传感器检
X
轴到达
CW
限位传感
器。
请向
CCW
方向移
动。
0xA2000002
X
CCW
限位传感器检
X
轴到达
CCW
限位传
感器。
请向
CW
方向移动。
0xA2000003
Y
CW
限位传感器检
Y
轴到达
CW
限位传感
器。
请向
CCW
方向移
动。
0xA2000004
Y
CCW
限位传感器检
Y
轴到达
CCW
限位传
感器。
请向
CW
方向移动。
0xA2000005
XY
轴动作超时错误
(1)
动作速度较慢。
(2)
超时时间较短。
(1)
请重新设定动作速
度。
(2)
请重新设定超时时
间。
0xA2000006
X
轴软限制错误
X
轴试图移动到可动
围外。
请正确设定移动位
置。
0xA2000007
Y
轴软限制错误
Y
轴试图移动到可动
围外。
0xA2000008
刮刀轴伺服
ON
错误
启动刮刀轴的伺服失
败。
请重新接通装置的电
源。
0xA2000009
标记动作不良
标记动作时发生错误。
0xA200000A
标记动作超时
标记传感器反应不良。
请调整传感器,使其
能够正常反应。
0xA200000D
搬送输送带指定脉冲发
错误
运行输送带失败。
请重新启动软件。
0xA200000E
搬送输送带速度更改错
0xA200000F
W1
轴打开错误
W1
轴初始化失败。
0xA2000010
W2
轴打开错误
W2
轴初始化失败。
0xA2000011
W3
轴打开错误
W3
轴初始化失败。