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第 2 章 系统概要 2- 3. 机器的构成 10 2- 3. 机器的构成 介绍本机各部的名称和 功能。 2-3- 1. 整机示意图 (a) 紧急停止开关 按下后进入紧急停止状 态，切断装置的电 源。 (b) 操作开关，监视器 进行基板搬入搬出和开 始 检查 等操作。显示检查 数据 创建，系 统设 定等操作画面。 另外，还可 显示摄像机拍摄的图像 等。 (c) 正面盖板 由于联锁上锁，检查 基板 时无法打开 盖板。进行轨道宽 度调整和基…