RV-2_使用说明书.pdf - 第99页
第 4 章 操作 篇 4- 3. 自动运转 的步骤 19 4 过判定显示 过量判定（以 REF 为单位） 检查完成后，按部件名 （ REF ）计数显示过判定 检查包的累 计数。 过量判定（以步骤为单 位） 检查完成后，按步骤计 数显示过判定检查包 的累计数。 部件名 显示判定为过判定的部 件名。 检查包名 显示过判定的 检查 包名。 实时图像显示 上方 基板全体图像 下方 检查中的块区域
第 4 章 操作篇
4-3. 自动运转的步骤
18
显示不良发生历史记录
(a)
不良块数
检查完成后，计数显示不良基板的块数。
(b)
部件名
显示判定为不良的部件名。
(c)
不良名称
显示判定为不良的不良名称。
显示累计不良
累计不良（以
REF
为单位）
检查完成后，按部件名（
REF
）计数显示不良基板的累计
数。
累计不良（以步骤为单位）
检查完成后，按步骤计数显示不良基板的累计数。
部件名
显示判定为不良的部件名。
不良名称
显示判定为不良的不良名称。
b
a
c
第 4 章 操作篇
4-3. 自动运转的步骤
19
4
过判定显示
过量判定（以
REF
为单位）
检查完成后，按部件名（
REF
）计数显示过判定检查包的累
计数。
过量判定（以步骤为单位）
检查完成后，按步骤计数显示过判定检查包的累计数。
部件名
显示判定为过判定的部件名。
检查包名
显示过判定的检查包名。
实时图像显示
上方
基板全体图像
下方
检查中的块区域
第 4 章 操作篇
4-3. 自动运转的步骤
20
定位标识别图像显示
标记
1
显示第
1
个标记。
标记
2
显示第
2
个标记。
标记
3
显示第
3
个标记（未使用时，则不显示）。