RV-2_使用说明书.pdf - 第444页

第 7 章选配 7- 5. 基板支撑 18 7- 5. 基板支撑支撑夹具是用于补正基板弯曲的机构。有助于获得稳定的图像。基板进深（ D 尺寸）较大时，可以安装在搬送部的中央附近使用，来补正基板的弯曲。不支持与图示相反方向的基板弯曲。 7-5- 1. 安装和机种的切换为了防止宽度调整中检测到有异常干扰物，在机种切换前，请如下述所示，将基板支撑夹具从搬送部移动到身边一侧。此外，配线和配管，也要注…

第 7 章选配

7-4. 强制传送

由于装置故障等导致操作开关无法使用时，可以通过传送操作搬送基板。使用强制传送时，请将钥匙开

关旋转至 START 位置。通常，请设为 STOP位置，钥匙由安全管理责任人员保管。

装置状态

绿色

黄色

红色

备注

PC OFF

时

不正常闪烁

亮灯

不正常闪烁是指

次闪烁

0.5

秒之

后，亮灯 2 秒。（重复此闪烁与亮

灯的过程）

PC ON

时

不正常闪烁

关灯

警告

在强制传送模式运转过程中紧急停止时，请将电源断路器设为 OFF。

STOP

PASS

START

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7-5. 基板支撑

支撑夹具是用于补正基板弯曲的机构。有助于获得稳定的图像。

基板进深（D 尺寸）较大时，可以安装在搬送部的中央附近使用，来补正基板的弯曲。

不支持与图示相反方向的基板弯曲。

7-5-1. 安装和机种的切换

为了防止宽度调整中检测到有异常干扰物，在机种切换前，请如下述所示，将基板支撑夹具从搬送部移

动到身边一侧。此外，配线和配管，也要注意不会在宽度调整时钩到。

机种切换的宽度调整完成后，请配置到搬送部的中央附近。

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7-5. 基板支撑

7-5-2. 使用和未使用的切换

基板的进深小，想要将基板支撑夹具切换为未使用时，可按照以下操作切换为未使用。

1 将用户级别设为［维护］，选择［维护］的［制造商设定］。

2 取消勾选［装置选配设定］的［支撑］。