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第 3 章 导入篇 3- 1. 安装 6 3-1- 3. 本机的安装 根据导入的安装系统生 产线的基板搬送规 格， 调整本机 的基板搬送面和搬送高 度。 本机的基板搬送规格如 下所示。 (a) 搬送基准面：导轨侧面 (b) 基板搬送高度： 900 - 20m m / + 70m m 皮带表面 1 在支架表面的 X 轴方向和 Y 轴方向各放置 1 个水平器。 (a) 水平器 b a a
第 3 章 导入篇
3-1. 安装
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3
3
使用 2 根内带凸缘扁圆头螺栓 M4×8 安装信号塔。
输送时
安装后
(a)
引线
(b)
带凸缘扁圆头螺栓用孔
(c)
带凸缘扁圆头螺栓
警告
安装信号塔时，请注意不要损坏引脚线。
C
a
b
第 3 章 导入篇
3-1. 安装
6
3-1-3.
本机的安装
根据导入的安装系统生产线的基板搬送规格，调整本机的基板搬送面和搬送高度。
本机的基板搬送规格如下所示。
(a)
搬送基准面：导轨侧面
(b)
基板搬送高度：
900 -20mm / +70mm
皮带表面
1
在支架表面的 X 轴方向和 Y 轴方向各放置 1 个水平器。
(a)
水平器
b
a
a
第 3 章 导入篇
3-1. 安装
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3
2
为了配合本机前工序和后工序的基板搬送高度，用扳手旋转底部 4 个脚的六角螺母来
调整基板搬送高度。
向右旋转为上升，向左旋转为下降。
注意
•
脚高度调整用六角螺母的
2
面宽度为
65mm
。
3
使用扳手旋转各脚的六角螺母进行微调，以确保 X 轴和 Y 轴的水平器显示的水平度在
0.05mm
以下（1 刻度为 0.02mm 的水平器为 2 刻度以下，1 刻度为 0.05mm 的水平
器为 1 刻度以下）。