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第 4 章 操作 篇 4- 3. 自动运转 的步骤 28 在[ AB 面选择]画面 中, 选择检查 基板的[ A 面],[ B 面] 任意一面。 触摸[ RES ET ]后,触摸 [ START ],可重新开始检 查执行处理。 基板序列 码 的手动输 入 发生基板序列码错误时 ,重新输入基板序列 码。 触摸[输入基板序列码 ]。

第 4 章 操作篇
4-3. 自动运转的步骤
27
4
各类警报功能按钮的操作
定位标手动位置校准
基板检查时,在发生定位标自动识别错误,中止检查执行处理的情况下,通过手动指定定位标位置,
重新开始检查执行处理。
触摸箭头按钮,将定位标的矩形对准目标位置,然后触摸[
OK
]。
触摸[
RESET
]后,触摸[
START
],可重新开始检查执行处理。
选择
AB
面识别符的手动面
发生
AB
面识别符错误时,指定运转面后重新进行识别。
触摸[
AB
面选择]。

第 4 章 操作篇
4-3. 自动运转的步骤
28
在[
AB
面选择]画面中,选择检查基板的[
A
面],[
B
面]任意一面。
触摸[
RESET
]后,触摸[
START
],可重新开始检查执行处理。
基板序列码的手动输入
发生基板序列码错误时,重新输入基板序列码。
触摸[输入基板序列码]。

第 4 章 操作篇
4-3. 自动运转的步骤
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在[输入基板序列码]画面中直接输入基本序列码,然后触摸[
OK
]。
触摸[
RESET
]后,触摸[
START
],可重新开始检查执行处理。