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第 3 章 导入篇 3- 3. 空气源的 连接 17 3 3- 3. 空气源的连接 3-3- 1. 主压缩空气源的连接 将所需主压缩空气源导 入本机，调整压力。 警告 关于工厂主压缩空气的 供给气体 请务必使用压缩空气， 而不要使用除此之外 的流体。 含有大量水分的压缩空 气会造成装置运行故 障。请用户自行准备 空 气干燥器，排水沟等水 分去除装置进行处 理。 压缩空气内含有化学药 品，以及含有机溶剂 的合成油、盐分、腐 蚀…
第 3 章 导入篇
3-2. 电器系统的连接
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3-2-2.
信号电缆的连接规格
拆下主机正面下方的盖板，露出信号电缆的连接部位。
为了配合前后工序的机器和基板接送的时机等，连接相互间的信号电缆。
准备物品
前工序和后工序的连接电缆（选配）：从以下 4 种电缆中选择。
主机侧
前工序侧，后工序侧
电缆长度
1 SMEMA 规格 AMP (14 P) 插头 SMEMA 规格 AMP (14 P) 插头 0.35m
2 同上 同上 小于 1m 或 3m
3 同上 MOLEX （4P）插头 小于 3m
4 同上 （用户规格） （用户指定）
本机侧的连接接头输入输出规格
与前工序装置的连接接头规格（
AMP. 206043-1
（
14
极））
引脚编号
信号名称
信号方向
1 REQUEST（+） 前工序装置→本机
2 REQUEST（-） 前工序装置→本机
3 READY 本机→前工序装置
4 G24 本机→前工序装置
5 SHIELD 本机→前工序装置
与后工序装置的连接接头规格（
AMP.206043-1
（
14
极））
引脚编号
信号名称
信号方向
1 READY 后工序装置→本机
2 G24 后工序装置→本机
3 REQUEST（+） 本机→后工序装置
4 REQUEST（-） 本机→后工序装置
5 SHIELD 本机→后工序装置
OK/NG
的连接接头规格（
MOLEX 1625-4R
）
引脚编号
信号名称
信号方向
1 OK（+） 本机→后工序装置
2 OK（-） 本机→后工序装置
3 NG（+） 本机→后工序装置
4 NG（-） 本机→后工序装置
第 3 章 导入篇
3-3. 空气源的连接
17
3
3-3.
空气源的连接
3-3-1.
主压缩空气源的连接
将所需主压缩空气源导入本机，调整压力。
警告
关于工厂主压缩空气的供给气体
请务必使用压缩空气，而不要使用除此之外的流体。
含有大量水分的压缩空气会造成装置运行故障。请用户自行准备空
气干燥器，排水沟等水分去除装置进行处理。
压缩空气内含有化学药品，以及含有机溶剂的合成油、盐分、腐蚀
性气体等物质时，会造成装置损坏和运行故障，请勿供给。
注意
工厂主气压请务必使用通过压缩空气净化装置供给的 0.49MPa 至
0.70MPa 的干燥气体。潮湿空气会造成不良影响，引起本机误动
作。
请用户自行准备连接到本机的空气导管和空气源的供给切断装置。
与高耦合器 20 SH（日东工器）相当品
1
解除空气装置过滤减压阀上的手柄，向逆时针方向旋转直至完全拧入，使之处于减压
至 0 Mpa 的状态。
第 3 章 导入篇
3-3. 空气源的连接
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2
将空气装置的主压缩气体引入用插头牢牢连接到工厂主气压导管的插座上。
(a)
手柄
(b)
压力计
3
打开工厂主压缩空气侧的阀门，向本机输送压缩空气。
顺时针方向慢慢旋转空气装置，过滤减压阀的手柄，直至本机正面下方盖子内的原始气压显示
变为
0.49MPa
。
压力计变为
0.49MPa (5 kgf/cm
2
)
后，锁住手柄。
a
b