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第 6 章 附录 6- 1. 故障排除 11 6 警报代码 错误内容 原因 应对方法 0xA10000 14 夹具动作超时（前通道 ） (1) 夹具气缸的动作不 良。 (2) 夹具传感器反应不 良。 (3) 超时时间较短。 (1) 请调整夹具气缸， 使其正常动作。 (2) 请调整夹具传感 器，使其能够正常反 应。 (3) 请重新设定超时时 间。 0xA10000 15 夹具动作超时（后通道 ） 0xA10000 16 基板搬入动作超时（…
第 6 章 附录
6-1. 故障排除
10
警报代码
错误内容
原因
应对方法
0xA1000007
基板固定错误
固定基板时发生错误。
请重新执行。
0xA1000008
基板固定错误（无基板）
输送带上没有基板。
请将基板放到输送带
上。
0xA1000009
基板释放错误
释放基板时发生错误。
请重新执行。
0xA100000A
宽度调整错误
调整输送带宽度时发生
错误。
0xA100000B
宽度调整错误（有基板）
输送带上有基板。
请从输送带中取出基
板。
0xA100000C
输送带通道移动终点错误
输送带宽度的设定不正
确。
请正确设定输送带宽
度。
0xA1000010
支撑动作超时（前通道）
(1)
未连接支撑。
(2)
支撑气缸的动作不
良。
(3)
支撑传感器反应不
良。
(4)
超时时间较短。
(1)
请连接支撑
，确认其是否正常动
作。
(2)
请调整支撑用气
缸，使其正常动作。
(3)
请调整支撑传感
器，使其能够正常反
应。
(4)
请重新设定超时时
间。
0xA1000011
支撑动作超时（后通道）
0xA1000012
挡块动作超时（前通道）
(1)
挡块气缸的动作不
良。
(2)
挡块传感器反应不
良。
(3)
超时时间较短。
(1)
请调整挡块气缸，
使其正常动作。
(2)
请调整挡块传感
器，使其能够正常反
应。
(3)
请重新设定超时时
间。
0xA1000013
挡块动作超时（后通道）
第 6 章 附录
6-1. 故障排除
11
6
警报代码
错误内容
原因
应对方法
0xA1000014
夹具动作超时（前通道）
(1)
夹具气缸的动作不
良。
(2)
夹具传感器反应不
良。
(3)
超时时间较短。
(1)
请调整夹具气缸，
使其正常动作。
(2)
请调整夹具传感
器，使其能够正常反
应。
(3)
请重新设定超时时
间。
0xA1000015
夹具动作超时（后通道）
0xA1000016
基板搬入动作超时（前通
道）
(1)
搬送时基板被卡住。
(2)
超时时间较短。
(1)
请设定较大的搬送
间隙。
(2)
请重新设定超时时
间。
0xA1000017
基板搬入动作超时（后通
道）
0xA1000018
基板搬出动作超时（前通
道）
0xA1000019
基板搬出动作超时（后通
道）
0xA100001A
基板搜索超时（前通道）
0xA100001B
基板搜索超时（后通道）
0xA100001C
W
轴动作超时错误
(1)
动作速度较慢。
(2)
超时时间较短。
(1)
请重新设定动作速
度。
(2)
请重新设定超时时
间。
0xA100001D
W1
轴
CW
限位传感器检
测
W1
轴到达
CW
限位传
感器。
请向
CCW
方向移
动。
0xA100001E
W1
轴
CCW
限位传感器
检测
W1
轴到达
CCW
限位
传感器。
请向
CW
方向移动。
0xA100001F
W2
轴
CW
限位传感器检
测
W2
轴到达
CW
限位传
感器。
请向
CCW
方向移
动。
0xA1000020
W2
轴
CCW
限位传感器
检测
W2
轴到达
CCW
限位
传感器。
请向
CW
方向移动。
0xA1000021
W3
轴
CW
限位传感器检
测
W3
轴到达
CW
限位传
感器。
请向
CCW
方向移
动。
0xA1000022
W3
轴
CCW
限位传感器
检测
W3
轴到达
CCW
限位
传感器。
请向
CW
方向移动。
第 6 章 附录
6-1. 故障排除
12
警报代码
错误内容
原因
应对方法
0xA1000023
右侧基板传感器检测（前
通道）
(1)
有基板。
(2)
有异物。
(3)
传感器反应不良。
(1)
请取下基板。
(2)
请清除异物。
(3)
请调整传感器，使
其能够正常反应。
0xA1000024
左侧基板传感器检测（前
通道）
0xA1000025
减速传感器检测（前通
道）
(1)
有基板。
(2)
有异物。
(3)
检测到刮刀。
(4)
传感器反应不良。
(1)
请取下基板。
(2)
请清除异物。
(3)
请调整传感器，使
其检测不到刮刀。
(4)
请调整传感器，使
其能够正常反应。
0xA1000026
到达传感器感知（前通
道）
0xA1000027
右侧基板传感器检测（后
通道）
(1)
有基板。
(2)
有异物。
(3)
传感器反应不良。
(1)
请取下基板。
(2)
请清除异物。
(3)
请调整传感器，使
其能够正常反应。
0xA1000028
左侧基板传感器检测（后
通道）
0xA1000029
减速传感器检测（后通
道）
(1)
有基板。
(2)
有异物。
(3)
检测到刮刀。
(4)
传感器反应不良。
(1)
请取下基板。
(2)
请清除异物。
(3)
请调整传感器，使
其检测不到刮刀。
(4)
请调整传感器，使
其能够正常反应。
0xA100002A
到达传感器检测（后通
道）
0xA100002B
搬入过程中，搬出口传感
器感知
①由于基板到达传感器
未感知，导致基板到达
了搬出口。
②搬入过程中，搬出口
传感器发生了感知。
请检查搬出口一端