KE-2070_80_80R使用说明书（管理员）.pdf - 第190页
操作手册Ⅱ 2-146 ● 当标记识别不稳定时，请按下设置照明条件按钮，设置照明图案。 请在指定测量框的左上方前，先设置照明图案。 图 2- 5-17设置照明条件 按下设置照明条件按钮，显示如下画面。请设置照明图案。 …
操作手册Ⅱ
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按继续键则继续进行示教，摄像机移动到标记的XY坐标，在监视画面上显示出示教对象(要记忆
的)的图案。
※当监视器画面上没有想示教的图案时，请确认输入的坐标是否正确。
※对于陶瓷基板标记(标记为白色)，确认后请再次按下“CAMERA”。在此按摄像机键，
可切换极性（对比度）。
③ 请设置检测框。
按照上面、左面、下面及右面的顺序，利用上下左右箭头键(使用 FAST 键改变检测框的移动
速度)来调整、输入检测框。
此时，将自动识别标记，并获的校正所需数据。
自动获得标记周围的干扰隔离级别，并显示在监视器上。
使用HOD的↑键、↓键(XY移动上下箭头键)进行调整,使标记清晰可见，把周围的干扰降低到最低。
调整结束后请按ENTER键。
操作手册Ⅱ
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● 当标记识别不稳定时，请按下设置照明条件按钮，设置照明图案。
请在指定测量框的左上方前，先设置照明图案。
图 2-5-17设置照明条件
按下设置照明条件按钮，显示如下画面。请设置照明图案。
·按<应用>按钮确认所设置光量下的图像。
照明图案 处理
标准照明 识别通常的基板标记时使用。
阻剂/保护胶片的图案
照明
在标记上有阻剂或保护胶片，标准照明时标记反射不佳，
识别不稳定时使用。
用户定义的照明
上述 2 种情况下标记的反射均不佳，识别不稳定时，直接
设置垂直、角度照明的光量时使用。
※用户定义的照明图案，一般设置在 50～200 之间。设置在 50 以下时，有时光亮不稳定。
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④ 请选择标记的形状。
标记的形状将被自动判别。判别结果有误时，请用HOD的↑键、↓键(X、Y移动上下箭头键)选
择正确的标记。
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[]ＰＲ
⑤ 请进行检测框的示教。
完成④的操作后，画面中心(默认窗口)会自动显示标记尺寸 1.5 倍的标记。要改变检测框时，
请执行④的步骤。
按与刻度框同样的方式来设置检测框，
设置的方法与刻度框相同。
完成调整后，按 ENTER 键。