KE-2070_80_80R使用说明书（管理员）.pdf - 第370页
操作手册Ⅱ 5-14 ○更换密封垫圈 1)卸下泵头罩上的 4 根(共 8 根) 六角凹头螺栓(M5×20)。 3)固定泵头罩用的六角凹头螺栓(M5×20)，以 5.0N ・ m 対角拧紧。 ※确认密封垫圈套在泵头罩的密封垫圈槽里，注意不要被咬在泵头罩和盘子之间。 ○更换 O 圈 S-67 1)按更换密封垫圈的要领，卸下泵头罩盘。…
操作手册Ⅱ
5-13
※本内容的适用对象是机器 Rev 为 KE-2070(Rev.F)、KE-2080(Rev.H)KE-2080R(Rev.B)以前的装置。
下列部件的耗损，可能导致压力降低。
<消耗部件表>更换部件组品号：40099554
检查部位 使用数量 检查内容 检查方法
皮碗式密封件 2 有无异常磨损、硬化、龟裂等 目检
吸气阀 2 有无变形、硬化、缺损 目检
排气阀 2 有无变形、硬化、缺损 目检
O 环 S-67 2 有无变形、磨损、硬化、龟裂等 目检
O 环P-10 4 有无变形、磨损、硬化、龟裂等 目检
密封垫圈 2 有无变形、硬化、龟裂等 目检
吸气阀防干扰橡胶 2 有无裂痕、硬化 目检
○更换准备
1)请确认真空泵没有运行。
※真空泵运行后泵内部会发热，
必须停止，放置约 30 分钟，确认泵已经冷却后，
才可开始进行更换、清扫作业。
2)请拆下主体正面的外罩。
3)拆下连接真空泵的气管①、
再拆下线綑(电源、地线)②、
把固定③VAC_PUMP_PLATE 的
④六角凹头螺栓(M4×8)拆下来。
4) 把真空泵从主体中取出。
(取出时，请注意线捆。)
检查·更换 真空泵部件的检查·更换
使用工具：
六角扳手、螺丝刀
更换频度：9 个月
②
③
④
真空泵
①
操作手册Ⅱ
5-14
○更换密封垫圈
1)卸下泵头罩上的 4 根(共 8 根)
六角凹头螺栓(M5×20)。
3)固定泵头罩用的六角凹头螺栓(M5×20)，以 5.0N
・
m 対角拧紧。
※确认密封垫圈套在泵头罩的密封垫圈槽里，注意不要被咬在泵头罩和盘子之间。
○更换 O 圈S-67
1)按更换密封垫圈的要领，卸下泵头罩盘。
2)把气缸上部的 O 圈S-67 换上新的。
3)固定泵头罩用的 M5×20，以 5.0N
・
m 対角拧紧。
○更换 O 圈 P-10
1)按更换密封垫圈的要领，卸下泵头板。
2)连接泵头罩的每根连接管，有两个 O 圈 P-10。
请换上涂抹了真空润滑油的新 O 圈。
3)固定泵头罩用的 M5×20，以 5.0N
・
m 对角拧紧。
※在泵头罩上安装连接管时，请确认 O 圈已经涂抹了真空润滑油，
插入时，小心不要损伤 O 圈。
2)卸下泵头罩内侧的黑色密封垫圈
(共 2 个)，换上新的密封垫圈。
操作手册Ⅱ
5-15
更换皮碗式密封件、吸气阀防干扰橡胶
1)卸下 3 根(共 6 本)埋头小螺钉(M4×8)，拆下固定板、吸气阀防干扰橡胶、皮碗式密封件气缸。
※将汽缸上和固定板上的脏污擦干净。
2) 把气缸清扫干净装上盒子，把新的皮碗式密封件中心对准连接杆的皮碗式密封件安装部位中心，
用手将气缸推进去。
3) 把新的吸气阀防干扰橡胶装上固定板后，放在皮碗式密封件上面，
将涂好密封液(NK-4)的(M4×8)，以 3.0N
・
m 紧固。
※
请注意皮碗式密封件的方向。
埋头小螺钉
吸 气 阀 防
干扰橡胶
固定板
皮碗式密封件
（※8OS）
连接杆