KE-2070_80_80R使用说明书（管理员）.pdf - 第191页
操作手册Ⅱ 2-147 ④ 请选择标记的形状。 标记的形状将被自动判别。判别结果有误时，请用HOD的↑键、↓键(X、Y移动上下箭头键)选 择正确的标记。 [＊] [] [] [] [] [] [] [] [] [] […
操作手册Ⅱ
2-146
● 当标记识别不稳定时，请按下设置照明条件按钮，设置照明图案。
请在指定测量框的左上方前，先设置照明图案。
图 2-5-17设置照明条件
按下设置照明条件按钮，显示如下画面。请设置照明图案。
·按<应用>按钮确认所设置光量下的图像。
照明图案 处理
标准照明 识别通常的基板标记时使用。
阻剂/保护胶片的图案
照明
在标记上有阻剂或保护胶片，标准照明时标记反射不佳，
识别不稳定时使用。
用户定义的照明
上述 2 种情况下标记的反射均不佳，识别不稳定时，直接
设置垂直、角度照明的光量时使用。
※用户定义的照明图案，一般设置在 50～200 之间。设置在 50 以下时，有时光亮不稳定。
操作手册Ⅱ
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④ 请选择标记的形状。
标记的形状将被自动判别。判别结果有误时，请用HOD的↑键、↓键(X、Y移动上下箭头键)选
择正确的标记。
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[]ＰＲ
⑤ 请进行检测框的示教。
完成④的操作后，画面中心(默认窗口)会自动显示标记尺寸 1.5 倍的标记。要改变检测框时，
请执行④的步骤。
按与刻度框同样的方式来设置检测框，
设置的方法与刻度框相同。
完成调整后，按 ENTER 键。
操作手册Ⅱ
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⑥ 示教结束后，显示提示，问是否注册到标记数据库
图 2-5-19基板标记示教(2)
要把示教数据注册到标记数据库时，请输入注册名称，然后按下<新建>按钮。
要与已经注册的示教数据进行替换时,请输入替换的名称，将光标移至注册区域想要替换的数
据所在行，然后按下<覆盖>按钮。
不将示教数据注册到标记数据库中时，请按下<取消>按钮。
至此，以识别为目的的示教操作结束。