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操作手册Ⅱ 5-3 1) 请检查红色标示(堵塞标记)是否上升。 2) 如有堵塞现象,请更换过滤器元件。 1)拆下标示①、②的 4 根螺丝。 2) 卸下标示③的 4 根螺丝。 3)更换新的过滤器元件、 O 环、垫圈。 4)安装时请按相反的步骤进行。 检查项目 5-2-2选项过滤器 实施…

操作手册Ⅱ
5-2
5-2各部分的检查
1) 在压力表上确认 0.5MPa。 3)若是排水管连接的瓶内存了水、
油,请倒干净。
2) 若压力值为 0.45MPa~0.55MPa 以外时,
请检查工厂内是否有空气泄漏,如果没
有异常,请按「调整方法」重新调整压力。
1) 打开旋钮①。
检查项目
5-2-1气压
实施频度:每天
检查内容 确认初压,检查排水管
调整方法 调整初压
・
检查 更换 更换过滤器零件 更换标准:2 年
①
②
フィルタエレメント A
PF901002000
フィルタエレメント B
PF901006000
樹脂部品
スライド部
2)向下拉“调节器旋钮②”,旋转旋
钮,转将使用的空气压力调整为
0.5MPa。
更换的大约间隔:每2年更换1次。或压力下降
到约0.1MPa(1kgf/C㎡)时。
更换方法
①降下滑动部分,同时将主体向左右任意一侧旋转
45度,然后抽出。
②拆卸过滤器元件B:将固定过滤器元件B的树脂元
件向左旋转,
拆卸过滤器元件 A:将过滤器元件 A 本身向左旋转
后拆下。
③安装时请按相反的步骤进行。
*选购件过滤器的更换步骤,请参见下一页。
瓶内存了水、油,
请倒干净。

操作手册Ⅱ
5-3
1) 请检查红色标示(堵塞标记)是否上升。
2) 如有堵塞现象,请更换过滤器元件。
1)拆下标示①、②的 4 根螺丝。
2) 卸下标示③的 4 根螺丝。 3)更换新的过滤器元件、O 环、垫圈。
4)安装时请按相反的步骤进行。
检查项目
5-2-2选项过滤器
实施频度:每天
检查内容 检查选项过滤器脏污
・
检查 更换 更换选项过滤器元件 更换标准:2年
货号:PF901007000
O 环、垫圈
过滤器组件
②
①
③

操作手册Ⅱ
5-4
1)请确认没有漏气
1) 主机接通电源后,请选择「手动控制」项目,检查下列各项目的动作状况。
① 基板挡销部
② 夹杆 X、夹杆 Y
③ ATC 单元
④ VCS(附有选项时)
✎ ✎
在确认各项动作、检查传感器的开/关情况时,执行手动控制模式。
有关手动控制的详细内容,请参见「第 9 章手动控制」。
2)如若动作有问题,请参考下页「管道系统图」进行检查。
检查项目
5-2-3管道及接头
实施频度:每周
检查内容 检查气压管道部分是否漏气
检查项目
5-2-4各单元汽缸
实施频度:每周
检查内容 检查各汽缸的动作
<右側面奥側>
フィンガバルブ