KE-2070_80_80R使用说明书（管理员）.pdf - 第369页
操作手册Ⅱ 5-13 ※本内容的适用对象是机器 Rev 为 KE-2070(Rev.F)、KE-2080(Rev.H)KE- 20 80R(Rev.B)以前的装置。 下列部件的耗损，可能导致压力降低。 <消耗部件表>更换部件组品号：40099554 检查部位 使用数量 检查内容 检查方法 皮碗式密封件 2 有无异常磨损、硬化、龟裂等 目检 吸气阀 2 有无变形、硬化、缺损 目检 排气阀…
操作手册Ⅱ
5-12
1）请根据设备正面的负压表，确认真空泵运转时的真空压。
2）如果真空表的数值低于-80kPa（绿色区域），
请按「过滤器及叶片的更换」、或「真空泵部件的检查·更换」，
检查·更换消耗部件。
※本内容
的适用
对象
是
机器 Rev 为 KE-2070(Rev.E)、KE-2080(Rev.G)KE-2080R(Rev.A)以前的装置。
1）确认真空泵没有运行，是否运行后很快出现高温。
2）取下主机正面的盖子，拧松泵正面固定风扇组的 M4 螺丝，向前方卸下。
3）用 BOX 扳子拧松固定泵套的 4 处六角螺栓，把套子卸下来。
4）从凹处把过滤器卸下来，检查脏污程度。（太脏时要更换）
5）从旋转部槽拔出叶片后，进行更换。（1 套 8 枚）
6）按上述逆顺序进行安装。
7）请确认再运转后没有异常声响，负压表数值高于-80kPa。
・
叶片的安装方向
检查项目
5-2-11 真空泵（选购项）
实施频度：参见下面
检查内容 检查过滤器脏污
更换 过滤器及
叶片
的更换
使用工具：
六角扳手、BOX 板子
更换频度：
1.5 年
叶片（×８）
（40061995）
过滤器
（40061996）
真
M4 螺栓
过滤器
（40061996）
叶片（×8）
（40061995）
风扇组
操作手册Ⅱ
5-13
※本内容的适用对象是机器 Rev 为 KE-2070(Rev.F)、KE-2080(Rev.H)KE-2080R(Rev.B)以前的装置。
下列部件的耗损，可能导致压力降低。
<消耗部件表>更换部件组品号：40099554
检查部位 使用数量 检查内容 检查方法
皮碗式密封件 2 有无异常磨损、硬化、龟裂等 目检
吸气阀 2 有无变形、硬化、缺损 目检
排气阀 2 有无变形、硬化、缺损 目检
O 环 S-67 2 有无变形、磨损、硬化、龟裂等 目检
O 环P-10 4 有无变形、磨损、硬化、龟裂等 目检
密封垫圈 2 有无变形、硬化、龟裂等 目检
吸气阀防干扰橡胶 2 有无裂痕、硬化 目检
○更换准备
1)请确认真空泵没有运行。
※真空泵运行后泵内部会发热，
必须停止，放置约 30 分钟，确认泵已经冷却后，
才可开始进行更换、清扫作业。
2)请拆下主体正面的外罩。
3)拆下连接真空泵的气管①、
再拆下线綑(电源、地线)②、
把固定③VAC_PUMP_PLATE 的
④六角凹头螺栓(M4×8)拆下来。
4) 把真空泵从主体中取出。
(取出时，请注意线捆。)
检查·更换 真空泵部件的检查·更换
使用工具：
六角扳手、螺丝刀
更换频度：9 个月
②
③
④
真空泵
①
操作手册Ⅱ
5-14
○更换密封垫圈
1)卸下泵头罩上的 4 根(共 8 根)
六角凹头螺栓(M5×20)。
3)固定泵头罩用的六角凹头螺栓(M5×20)，以 5.0N
・
m 対角拧紧。
※确认密封垫圈套在泵头罩的密封垫圈槽里，注意不要被咬在泵头罩和盘子之间。
○更换 O 圈S-67
1)按更换密封垫圈的要领，卸下泵头罩盘。
2)把气缸上部的 O 圈S-67 换上新的。
3)固定泵头罩用的 M5×20，以 5.0N
・
m 対角拧紧。
○更换 O 圈 P-10
1)按更换密封垫圈的要领，卸下泵头板。
2)连接泵头罩的每根连接管，有两个 O 圈 P-10。
请换上涂抹了真空润滑油的新 O 圈。
3)固定泵头罩用的 M5×20，以 5.0N
・
m 对角拧紧。
※在泵头罩上安装连接管时，请确认 O 圈已经涂抹了真空润滑油，
插入时，小心不要损伤 O 圈。
2)卸下泵头罩内侧的黑色密封垫圈
(共 2 个)，换上新的密封垫圈。