KE-2070_80_80R使用说明书（管理员）.pdf - 第360页
操作手册Ⅱ 5-4 1)请确认没有漏气 1) 主机接通电源后，请选择「手动控制」项目，检查下列各项目的动作状况。 ① 基板挡销部 ② 夹杆 X、夹杆 Y ③ ATC 单元 ④ VCS（附有选项时） ✎ ✎ 在确认各项动作、检查传感器的开／关情况时，执行手动控制模式。 有关手动控制的详细内容，请参见「第 9 章手动控制」 。 2)如若动作有问题，请参考下页「管道系统图」进行 …
操作手册Ⅱ
5-3
1) 请检查红色标示（堵塞标记）是否上升。
2) 如有堵塞现象，请更换过滤器元件。
1)拆下标示①、②的 4 根螺丝。
2) 卸下标示③的 4 根螺丝。 3)更换新的过滤器元件、O 环、垫圈。
4)安装时请按相反的步骤进行。
检查项目
5-2-2选项过滤器
实施频度：每天
检查内容 检查选项过滤器脏污
･
检查 更换 更换选项过滤器元件 更换标准：２年
货号：PF901007000
O 环、垫圈
过滤器组件
②
①
③
操作手册Ⅱ
5-4
1)请确认没有漏气
1) 主机接通电源后，请选择「手动控制」项目，检查下列各项目的动作状况。
① 基板挡销部
② 夹杆 X、夹杆 Y
③ ATC 单元
④ VCS（附有选项时）
✎ ✎
在确认各项动作、检查传感器的开／关情况时，执行手动控制模式。
有关手动控制的详细内容，请参见「第 9 章手动控制」。
2)如若动作有问题，请参考下页「管道系统图」进行检查。
检查项目
5-2-3管道及接头
实施频度：每周
检查内容 检查气压管道部分是否漏气
检查项目
5-2-4各单元汽缸
实施频度：每周
检查内容 检查各汽缸的动作
＜右側面奥側＞
フィンガバルブ
操作手册Ⅱ
5-5
(1)管道系统图(主机)
Cellblock
A
B
P
R
A
B
A
B
ATC
)
CVS
f6 ST=30
带电磁阀的复式接头
AE/E
阀
AE/E
阀