KE-2070_80_80R使用说明书（管理员）.pdf - 第368页
操作手册Ⅱ 5-12 1）请根据设备正面的负压表，确认真空泵运转时的真 空压。 2）如果真空表的数值低于-80kPa（绿色区域） ， 请按 「 过滤器及叶片的更换」 、或「真空泵部件的检查·更换」 ， 检查·更换消耗部件。 ※本内容 的适用 对象 是 机器 Rev 为 KE-2070(Rev.E)、KE-2080( Rev.G)KE-2080R(Rev.A)以前的装置。 1）确认真空泵没有运行，是…
操作手册Ⅱ
5-11
1) 请确认各个插头的连接确实无误。（托盘供应装置、键盘、HOD 等）
检查项目
5-2-10电缆、插头
实施频度：每天
检查内容 检查确认电缆、插头的连接情况
マウス
キーボード
HOD
ﾄﾚｲ供給装置
USB
Ethernet など
操作手册Ⅱ
5-12
1）请根据设备正面的负压表，确认真空泵运转时的真空压。
2）如果真空表的数值低于-80kPa（绿色区域），
请按「过滤器及叶片的更换」、或「真空泵部件的检查·更换」，
检查·更换消耗部件。
※本内容
的适用
对象
是
机器 Rev 为 KE-2070(Rev.E)、KE-2080(Rev.G)KE-2080R(Rev.A)以前的装置。
1）确认真空泵没有运行，是否运行后很快出现高温。
2）取下主机正面的盖子，拧松泵正面固定风扇组的 M4 螺丝，向前方卸下。
3）用 BOX 扳子拧松固定泵套的 4 处六角螺栓，把套子卸下来。
4）从凹处把过滤器卸下来，检查脏污程度。（太脏时要更换）
5）从旋转部槽拔出叶片后，进行更换。（1 套 8 枚）
6）按上述逆顺序进行安装。
7）请确认再运转后没有异常声响，负压表数值高于-80kPa。
・
叶片的安装方向
检查项目
5-2-11 真空泵（选购项）
实施频度：参见下面
检查内容 检查过滤器脏污
更换 过滤器及
叶片
的更换
使用工具：
六角扳手、BOX 板子
更换频度：
1.5 年
叶片（×８）
（40061995）
过滤器
（40061996）
真
M4 螺栓
过滤器
（40061996）
叶片（×8）
（40061995）
风扇组
操作手册Ⅱ
5-13
※本内容的适用对象是机器 Rev 为 KE-2070(Rev.F)、KE-2080(Rev.H)KE-2080R(Rev.B)以前的装置。
下列部件的耗损，可能导致压力降低。
<消耗部件表>更换部件组品号：40099554
检查部位 使用数量 检查内容 检查方法
皮碗式密封件 2 有无异常磨损、硬化、龟裂等 目检
吸气阀 2 有无变形、硬化、缺损 目检
排气阀 2 有无变形、硬化、缺损 目检
O 环 S-67 2 有无变形、磨损、硬化、龟裂等 目检
O 环P-10 4 有无变形、磨损、硬化、龟裂等 目检
密封垫圈 2 有无变形、硬化、龟裂等 目检
吸气阀防干扰橡胶 2 有无裂痕、硬化 目检
○更换准备
1)请确认真空泵没有运行。
※真空泵运行后泵内部会发热，
必须停止，放置约 30 分钟，确认泵已经冷却后，
才可开始进行更换、清扫作业。
2)请拆下主体正面的外罩。
3)拆下连接真空泵的气管①、
再拆下线綑(电源、地线)②、
把固定③VAC_PUMP_PLATE 的
④六角凹头螺栓(M4×8)拆下来。
4) 把真空泵从主体中取出。
(取出时，请注意线捆。)
检查·更换 真空泵部件的检查·更换
使用工具：
六角扳手、螺丝刀
更换频度：9 个月
②
③
④
真空泵
①