MEC-AIMEX2S机械手册S.pdf - 第183页

MEC-AIMEX2S-011S0 5. 保养 AIMEX IIS 机械手册 163 3. 请拆除测定部的上面盖板。 4. 请手动将挡板 (2) 移动到可动端子 (3) 侧。 5. 请拆除固定端子 (4) 和绝缘板 (5)。 6. 请临时拧紧新的固定端子和绝缘板。 7. 请手动将挡板移动到固定端子侧，并使挡板和固定端子以平行状态接触。 8. 请在挡板和固定端子接触的状态下，将固定端子固定。（紧固转矩 0.44Nm） 30NST…

5. 保养 MEC-AIMEX2S-011S0

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6. 请拆除位于 Side1 的 2 个过滤器。拆卸时请将手从 CPU 箱、伺服箱的边上伸入。过滤器

罩和过滤器都可以用手拆除。

7. 请拆除 Side2 这一侧的导槽衬板。拆卸方法与 Side1 相同。

8. 请拉出真空泵。方法：往自己身体这一侧拉。（关于详细内容，请参考。）" 6.14 真空

泵损耗品的更换 "

9. 请拆除位于 Side2 的 2 个过滤器。过滤器罩和过滤器都可以用手拆除。

10.请用压缩空气清洁过滤器。如果过滤器污染严重，则请以旧换新。

11.请按照和拆卸时相反的顺序重新装好真空泵过滤器。

5.9.9 LCR 检测单元的测定端子的更换

1. 请从机器上拆除元件供应单元后，打开正面门。

2. 请将设置在废料带输送槽边上的 LCR 检测单元用的手动阀 (1) 转到「Close」，关闭气

源。

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警告

关掉真空泵后请放置 30 分钟以上。等真空泵完全冷却后再作业。真空泵运行过后泵内

处于高温状态，请注意灼伤。

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MEC-AIMEX2S-011S0 5. 保养

AIMEX IIS 机械手册 163

3. 请拆除测定部的上面盖板。

4. 请手动将挡板 (2) 移动到可动端子 (3) 侧。

5. 请拆除固定端子 (4) 和绝缘板 (5)。

6. 请临时拧紧新的固定端子和绝缘板。

7. 请手动将挡板移动到固定端子侧，并使挡板和固定端子以平行状态接触。

8. 请在挡板和固定端子接触的状态下，将固定端子固定。（紧固转矩 0.44Nm）

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9. 请拆除可动端子 (3) 和垫片 (6)。

10.请临时拧紧新的可动端子。

11.请手动将挡板移动到与可动端子重叠的位置。

12.请安装垫片，并使挡板和可动端子之间的缝隙为 0.08mm。请使用治具 (7) 进行缝隙厚

度的确认。

13.请固定可动端子。（紧固转矩 0.44Nm）

14.请手动前后移动挡板，确认动作是否顺畅。

15.请安装测定部的上面盖板。（紧固转矩 0.19Nm）

16.请将 LCR 检测单元用的手动阀转到「Open」，打开气源。

17.请将机器返回到原来的状态。

18.请实行 LCR 检测仪补正。详细内容 " 5.11.16 LCR 检测仪补正 " 请参照。

19.请进行 LCR 检测仪的精度确认。详细内容 " 5.11.17 LCR 检测仪的精度确认 " 请参照。

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