MEC-AIMEX2S机械手册S.pdf - 第78页
3. 传感器分布图 MEC-AIMEX2S-011S0 58 AIMEX IIS 机械手册 3.10 混合校正单元传感器 图中编号 地址 信号名 1 RX009 Side1- 混合校正 确认吸取 2 RY006 Side1- 混合校正 吸取真空 ON 3 RY007 Side1- 混合校正 吸取真空 OFF 4 RX059 Side2- 混合校正 确认吸取 5 RY056 Side2- 混合校正 吸取真空 ON 6 RY057 Side…
MEC-AIMEX2S-011S0 3. 传感器分布图
AIMEX IIS 机械手册 57
※ 上述 I/O 包含在 「Equipment Check」中的 [I/O 监视器 - 模组 - 远程控制 ] 项目中。
21 RX026 轨道 1 夹紧切换 L 基准 退避位置
22 RX02D 轨道 1 夹紧切换 L 从属 夹紧位置
23 RX02E 轨道 1 夹紧切换 L 从属 退避位置
24 RX057 轨道 2 夹紧切换 R 基准 夹紧位置
25 RX058 轨道 2 夹紧切换 R 基准 退避位置
26 RX072 轨道 2 夹紧切换 R 从属 夹紧位置
27 RX073 轨道 2 夹紧切换 R 从属 夹紧位置
28 RY00F 轨道 1 夹紧切换 R 退避
29 RY01D 轨道 1 夹紧切换 R 夹紧
30 RY01E 轨道 1 夹紧切换 L 退避
31 RY01F 轨道 1 夹紧切换 L 夹紧
32 RY05F 轨道 2 夹紧切换 R 退避
33 RY06D 轨道 2 夹紧切换 R 夹紧
图中编号 地址 信号名
34 OPTOF 确认 Z0 高度
图中编号 地址 信号名
UeD08VDL
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3. 传感器分布图 MEC-AIMEX2S-011S0
58 AIMEX IIS 机械手册
3.10 混合校正单元传感器
图中编号 地址 信号名
1 RX009 Side1- 混合校正 确认吸取
2 RY006 Side1- 混合校正 吸取真空 ON
3 RY007 Side1- 混合校正 吸取真空 OFF
4 RX059 Side2- 混合校正 确认吸取
5 RY056 Side2- 混合校正 吸取真空 ON
6 RY057 Side2- 混合校正 吸取真空 OFF
0(&6
6LGH
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UeD08VDL
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MEC-AIMEX2S-011S0 3. 传感器分布图
AIMEX IIS 机械手册 59
3.11 电路板高度测定传感器
No. 地址 信号名
1 RY01C 电路板高度传感器 _ 零位移
2 RY01D 电路板高度传感器 _ 激光投射停止
3 RY01C 电路板高度传感器 _ 零位移
4 RY01D 电路板高度传感器 _ 激光投射停止
PH2
30MEC-0743
1
2
3
4
UeD08VDL
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