MEC-AIMEX2S机械手册S.pdf - 第407页
MEC-AIMEX2S-011S0 9. 调整 AIMEX IIS 机械手册 387 9.3 真空传感器 1. 真空传感器配置在主开关旁边。 真空传感器在 2 个传感器的上侧。 备注 )关于传感器的安装位置请参考 「3.2 基座传感器」 2. 持续按 「S」按钮 5 秒以上显示出 「LoC」 。变换显示出 「F 0」 、 「LoC」 。 3. 按箭头键中的任意一个显示出 「UnL」 ，再按 「s」键。解除锁定。 4. 持续按 「s」键 …
9. 调整 MEC-AIMEX2S-011S0
386 AIMEX IIS 机械手册
3. 请把输入模式设定为 「L-on」（避光时为 OFF）。
请先按键 （1），然后在 5 秒之内按键 （2）。
备注 )如果已经显示为 「L-on」，则无需此操作。
4. 请设定灵敏度。
持续按模式键 (3)3 秒左右，然后再按 1 次模式键 (3) 之后自动进入灵敏度设定画面。
5. 当显示为 「Std」时，请按 1 次箭头键 （无论哪个方向的箭头键都可以）将显示调节为
「SEtP」。如果已经显示为 「「SEtP」，则无需此操作。
6. 请按 1 次模式键。
7. 请按箭头键将设定值调节为 「-4P」。
8. 持续按模式键 3 秒左右，设定就此完成。
9. 请先关闭传感器放大器的盖板，然后再安装 MFU-65。（参考 「4.2 安装 / 拆除 MFU-
6 5 」。）
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MEC-AIMEX2S-011S0 9. 调整
AIMEX IIS 机械手册 387
9.3 真空传感器
1. 真空传感器配置在主开关旁边。真空传感器在 2 个传感器的上侧。
备注 )关于传感器的安装位置请参考 「3.2 基座传感器」
2. 持续按 「S」按钮 5 秒以上显示出 「LoC」。变换显示出 「F 0」、「LoC」。
3. 按箭头键中的任意一个显示出 「UnL」，再按 「s」键。解除锁定。
4. 持续按 「s」键 2 秒以上后，显示出 「F 0」。
5. 当显示屏下侧的单位显示不是 「kPa」时，按下 「s」键，用箭头键显示出 「PA」后按
下 「s」键，单位显示已经是 「kPa」时不需要此操作。
备注 )设定单位时用箭头键切换 「PA」和 「*PA」, 在此，「*PA」的 「*」表示记号已经显示
的意思。
6. 从 「F 0」的状态按下箭头键后显示 「F 1」，请按下 「s」键，交替显示 「oU1」和
「HYS」。
7. 请按 「s」键。交替显示 「lot」和 「1_P」。
8. 请按 「s」键。显示出 「P_1」，请用箭头键设定为 「-59.0」。
9. 请按 「s」键。显示出 「H_1」，请用箭头键设定为 「0.000」。
10.请按 「s」键。交替显示 「Co1」和 「SoG」。
11.请按 「s」键。显示出 「F_1」。
12.请按 「s」键 2 秒以上，显示出当前的压力值。
13.请按 「s」键 5 秒钟，交替显示 「F 0」和 「UnL」。
14.按箭头键中的任意一个显示出 「Loc」后，请按 「s」键。锁定设定。
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9. 调整 MEC-AIMEX2S-011S0
388 AIMEX IIS 机械手册
9.4 压力传感器
1. 压力传感器配置在主开关旁边。压力传感器在 2 个传感器的下侧。
备注 )关于传感器的安装位置请参考 「3.2 基座传感器」
2. 持续按 「S」按钮 5 秒以上显示出 「LoC」。变换显示出 「F 0」、「LoC」。
3. 按箭头键中的任意一个显示出 「UnL」，再按 「s」键。解除锁定。
4. 持续按 「s」键 2 秒以上后，显示出 「F 0」。
5. 当显示屏下侧的单位显示不是 「MPa」时，按下 「s」键，用箭头键显示出 「PA」后按
下 「s」键，单位显示已经是 「MPa」时不需要此操作。
备注 )设定单位时用箭头键切换 「PA」和 「*PA」, 在此，「*PA」的 「*」表示记号已经显示
的意思。
6. 从 「F 0」的状态按下箭头键后显示 「F 1」，请按下 「s」键，交替显示 「oU1」和
「HYS」。
7. 请按 「s」键。交替显示 「lot」和 「1_P」。
8. 请按 「s」键。显示出 「P_1」，请用箭头键设定为 「0.400」。
9. 请按 「s」键。显示出 「H_1」，请用箭头键设定为 「0.000」。
10.请按 「s」键。交替显示 「Co1」和 「SoG」。
11.请按 「s」键。显示出 「F_1」。
12.请按 「s」键 2 秒以上，显示出当前的压力值。
13.请按 「s」键 5 秒钟，交替显示 「F 0」和 「UnL」。
14.按箭头键中的任意一个显示出 「Loc」后，请按 「s」键。锁定设定。
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