MEC-AIMEX2S机械手册S.pdf - 第185页

MEC-AIMEX2S-011S0 5. 保养 AIMEX IIS 机械手册 165 5.10 每 12000 小时一次的工作 5.10.1 清洁湿气分离器 1. 请关闭主电源开关。 2. 请拆除主电源开关处的盖板。 a. 请拆除盖板上面的 2 根螺丝。 b. 请拧松盖板底部的 2 根螺丝后向前拉出盖板。 3. 请转动气体调节杆停止供气。 4. 请拔掉输气管后慢慢将调节杆转回去并放掉管内气体。 5. 请拆除安装螺丝后拿掉滤芯组件。 …

5. 保养 MEC-AIMEX2S-011S0

164 AIMEX IIS 机械手册

9. 请拆除可动端子 (3) 和垫片 (6)。

10.请临时拧紧新的可动端子。

11.请手动将挡板移动到与可动端子重叠的位置。

12.请安装垫片，并使挡板和可动端子之间的缝隙为 0.08mm。请使用治具 (7) 进行缝隙厚

度的确认。

13.请固定可动端子。（紧固转矩 0.44Nm）

14.请手动前后移动挡板，确认动作是否顺畅。

15.请安装测定部的上面盖板。（紧固转矩 0.19Nm）

16.请将 LCR 检测单元用的手动阀转到「Open」，打开气源。

17.请将机器返回到原来的状态。

18.请实行 LCR 检测仪补正。详细内容 " 5.11.16 LCR 检测仪补正 " 请参照。

19.请进行 LCR 检测仪的精度确认。详细内容 " 5.11.17 LCR 检测仪的精度确认 " 请参照。

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(5)

(4)

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(6)

(3)

(7)

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MEC-AIMEX2S-011S0 5. 保养

AIMEX IIS 机械手册 165

5.10 每 12000 小时一次的工作

5.10.1 清洁湿气分离器

1. 请关闭主电源开关。

2. 请拆除主电源开关处的盖板。

a. 请拆除盖板上面的 2 根螺丝。

b. 请拧松盖板底部的 2 根螺丝后向前拉出盖板。

3. 请转动气体调节杆停止供气。

4. 请拔掉输气管后慢慢将调节杆转回去并放掉管内气体。

5. 请拆除安装螺丝后拿掉滤芯组件。

6. 请用压缩空气清洁滤芯组件。如果很脏就请换新。

注意 )安装滤芯组件时请将带孔的一面朝上。

7. 请按照和拆卸时相反的顺序重新装好湿气分离器。

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5. 保养 MEC-AIMEX2S-011S0

166 AIMEX IIS 机械手册

5.10.2 清洁真空泵过滤器

1. 请拆除 Side2 这一侧的 MFU-65。（关于详细内容请参考「4.2 安装 / 拆除 MFU-65」）。

2. 请关闭主电源开关 , 切断机器电源。

3. 请拆除 2 根螺丝后拿掉料站盖板（下）。由于盖板下方的挂钩挂在螺栓上，所以请一边

向前倾斜一边拿掉盖板。

4. 请拆除 4 根螺栓后拿掉废料带导槽。

5. 请拆除 5 根螺丝后拿掉导槽衬板。

警告

更换之前请务必切断机器主电源。

关掉真空泵后请放置 30 分钟以上。等真空泵完全冷却后再作业。真空泵运行过后泵内

处于高温状态，请注意灼伤。

注意

作业时请注意不要使身体和头部碰到料站基座的导轨等突出部位，以免受伤。

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3.3 Nm

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1.65 Nm

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