MEC-AIMEX2S机械手册S.pdf - 第352页
7. 更换部件 MEC-AIMEX2S-011S0 332 AIMEX IIS 机械手册 4. 请拆除 4 根螺栓后拿掉废料带导槽。 5. 请拆除 5 根螺丝后拿掉导槽衬板。 6. 请拆除 3 根螺栓后拿掉基座内右侧盖板。 7. 请确认真空泵控制箱的位置并拔 掉接在控制箱支架上的插头 (MS1CN1、MS1CN2、 MS1CN3)。 0(&6D ⵕグ⌫ 㷰ṉ ᤸ䫟 …

MEC-AIMEX2S-011S0 7. 更换部件
AIMEX IIS 机械手册 331
7.12 更换真空泵控制箱
真空泵控制箱位于 Side2 这一侧的基座内
7.12.1 更换方法
1. 请拆除位于 Side2 这一侧的 MFU-65。( 关于详细内容请参考 「4.2 安装 / 拆除 MFU-
65」。)
2. 请关闭主电源开关,切断机器电源。
3. 请拆除 2 根螺栓后拿掉料站盖板 (下)。由于盖板下方的挂钩挂在螺栓上,所以请一边
向前倾斜一边拿掉盖板。
30MEC-0535
注意
请捏住插头再拔导线,不要直接拉导线。
拆除控制箱时不要硬拉各种导线。
安装插头之前请先确认插头名称是否准确无误。
安装控制箱时注意不要夹到导线。
警告
更换之前请务必切断机器电源。
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7. 更换部件 MEC-AIMEX2S-011S0
332 AIMEX IIS 机械手册
4. 请拆除 4 根螺栓后拿掉废料带导槽。
5. 请拆除 5 根螺丝后拿掉导槽衬板。
6. 请拆除 3 根螺栓后拿掉基座内右侧盖板。
7. 请确认真空泵控制箱的位置并拔掉接在控制箱支架上的插头 (MS1CN1、MS1CN2、
MS1CN3)。
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3.3 Nm
1.96 Nm
1.65 Nm
30MEC-0537-a
1.96 Nm
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MEC-AIMEX2S-011S0 7. 更换部件
AIMEX IIS 机械手册 333
8. 请拆除固定真空泵控制箱支架的螺栓。
9. 请将支架和控制箱一起拿掉。
10.请从支架上拆除控制箱。
11.请按照和拆除时相反的顺序将新真空泵控制箱装回原处。
30MEC-0538-a
3.92 Nm
UeD08VDL
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