MEC-AIMEX2S机械手册S.pdf - 第184页
5. 保养 MEC-AIMEX2S-011S0 164 AIMEX IIS 机械手册 9. 请拆除可动端子 (3) 和垫片 (6)。 10.请临时拧紧新的可 动端子。 11.请手动将挡板移动到与 可动端子重叠的位置。 12.请安装垫片,并使挡板和可动 端子之间的缝隙为 0.08mm。 请使用治具 (7) 进行缝隙厚 度的确认。 13.请固定可动端子。 (紧固转矩 0.44Nm) 14.请手动前后移动挡板,确认动作是否顺畅。 15.请安装…

MEC-AIMEX2S-011S0 5. 保养
AIMEX IIS 机械手册 163
3. 请拆除测定部的上面盖板。
4. 请手动将挡板 (2) 移动到可动端子 (3) 侧。
5. 请拆除固定端子 (4) 和绝缘板 (5)。
6. 请临时拧紧新的固定端子和绝缘板。
7. 请手动将挡板移动到固定端子侧,并使挡板和固定端子以平行状态接触。
8. 请在挡板和固定端子接触的状态下,将固定端子固定。(紧固转矩 0.44Nm)
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5. 保养 MEC-AIMEX2S-011S0
164 AIMEX IIS 机械手册
9. 请拆除可动端子 (3) 和垫片 (6)。
10.请临时拧紧新的可动端子。
11.请手动将挡板移动到与可动端子重叠的位置。
12.请安装垫片,并使挡板和可动端子之间的缝隙为 0.08mm。请使用治具 (7) 进行缝隙厚
度的确认。
13.请固定可动端子。(紧固转矩 0.44Nm)
14.请手动前后移动挡板,确认动作是否顺畅。
15.请安装测定部的上面盖板。(紧固转矩 0.19Nm)
16.请将 LCR 检测单元用的手动阀转到 「Open」,打开气源。
17.请将机器返回到原来的状态。
18.请实行 LCR 检测仪补正。详细内容 " 5.11.16 LCR 检测仪补正 " 请参照。
19.请进行 LCR 检测仪的精度确认。详细内容 " 5.11.17 LCR 检测仪的精度确认 " 请参照。
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MEC-AIMEX2S-011S0 5. 保养
AIMEX IIS 机械手册 165
5.10 每 12000 小时一次的工作
5.10.1 清洁湿气分离器
1. 请关闭主电源开关。
2. 请拆除主电源开关处的盖板。
a. 请拆除盖板上面的 2 根螺丝。
b. 请拧松盖板底部的 2 根螺丝后向前拉出盖板。
3. 请转动气体调节杆停止供气。
4. 请拔掉输气管后慢慢将调节杆转回去并放掉管内气体。
5. 请拆除安装螺丝后拿掉滤芯组件。
6. 请用压缩空气清洁滤芯组件。如果很脏就请换新。
注意 )安装滤芯组件时请将带孔的一面朝上。
7. 请按照和拆卸时相反的顺序重新装好湿气分离器。
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