RX-8_说明书(1).pdf - 第169页
4 操作篇 4-5 安排 87 4 4-5-2. 传送安排 要用手在装置内安放或取出基板时， 请触摸 [ 手动操 ( 作 ) 交付开始 ] ，待安 全盖（罩）的锁完全解除后，再开始 装置内的作业 。 作业结束后请触摸 [ 手动操 ( 作 ) 交付完成 ] ，使本机的状态恢 复原状。 触摸 [ 安排 ] 画面子菜单面板中的 [ 基板传 送 ] ，显示 [ 基板传送 ] 画面 。
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[程序注册]画面
在[程序注册]画面中，事先注册常用的生产程序，或接近生产预定时间的生产程序，可缩短生产程序切换时
的数据搜索时间。
触摸[安排]画面子菜单面板中的[程序注册]，显示[程序注册]画面。
(a)
生产分组名
触摸文本区域，显示
[
选择生产分组
]
对话框，选择
/
解除生产分组。
(b)
全部注册数
显示注册生产程序的总数。
(c)
生产程序列表
显示属于生产分组名称中选择的生产分组的生产程序。
•
生产文件名：显示生产文件的名称。
•
生产程序数：显示生产程序的名称。
•
生产程序码号码：显示生产程序的生产程序代码。
•
更新日：显示生产程序的最后更新日。
(d)
解除
生产程序列表的
[
注册
]
标记 将消失。
(e)
注册
显示生产程序列表的[注册]标记 。
进行程序注册后，[支援准备]菜单的[选择生产程序]对话框中只能显示注
册程序。
Tips
Ÿ
可以作为注册程序进行注册的生产程序数量没有上限。
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4
4-5-2. 传送安排
要用手在装置内安放或取出基板时，请触摸[手动操(作)交付开始]，待安
全盖（罩）的锁完全解除后，再开始装置内的作业。 作业结束后请触摸
[手动操(作)交付完成]，使本机的状态恢复原状。
触摸[安排]画面子菜单面板中的[基板传送]，显示[基板传送]画面。
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(a)
传送单元示意图 显示装置内传送的状态和基板的位置。
用红色 (High (1)) 和黑色 (Low (0)) 显示传送部位的各类传感
器的输入状态。
(b)
微调动作移动速度 从[低速]、[中速]、[高速]中选择传送宽度的微调移动速度。
(c)
前通道宽度调整 在文本框中显示当前的前通道宽度。
要更改通道宽度时，触摸[宽度调整]，将自动调整通道宽度。
进行微调时，触摸 / ，进行通道宽度的微调操作。
(d)
通道操作 对每个通道进行基板搬入，递送，搬出操作。
•
[
搬入
]
：从前工序设备搬入基板。
•
[
交付
]
：从上游单元向下游单元递送基板。
•
[
重夹
]
：在对象站点内进行基板的重新定位动作，重夹基板。
•
[
搬出
]
：将基板搬出到后工序设备。
(e)
手动操(作)交付开始
作业员将手伸入装置内作业时触摸。
将左右一次性更换台车降下，解除安全盖（罩）的锁定。
一边用手递送基板，一边调整传送的宽度时使用。
(f)
手动操(作)交付完成
在完成装置内的作业时触摸，将左右一次性更换台车升上，待安全
盖（罩）锁定后，确认基板的有无。
(g)
自动宽度调整
（所有通道）
自动向基准轨道的基准位置移动，根据生产程序中输入的基板宽
度，自动调整通道宽度。
(h)
外形基准示教 如果生产程序设定为使用基板停止器时，需对基板停止器示教基板
端的位置。
有关外形基准示教的详情，请参见「4-15-5 外形基准示教」。
用户级别为［SUPERVISOR］、或［MAINTENANCE］时此项有
效。
Tips
Ÿ
基准轨道以黄色显示。
Ÿ
站点上存在基板时，以白色图形表示。
Ÿ
各传感器为
ON
的状态下，将显示为红色（ ）。