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第 5 章 维护篇 5-2. 保养检查 43 5 ●更换 O 型圈 P-10 1) 按照与更换密封垫 相同的要领 拆下泵头护盖、连 接管。 2) O 型圈 P-10 安装在连接 泵 头护盖之间的连 接管上。 3) 插进连接管,进行 更换时请注意不要 损伤 O 型 圈。( 1 根上有两侧 2 处 ) ※更换前,请对连接 管的 O 型圈沟槽、泵头的 连接管安装 孔进行清扫。护盖的 安装,请按照密封 垫的更换步骤实施 。如果要更换其他 磨损部…

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维护篇
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保养检查
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1. 将真空泵从主机中取出来。
※取出时请注意束线。
※拆下真空泵时请注意不要把持连接管。
※取出真空泵时,真空泵的橡皮脚有时会与
VACUUM_PUMP_BR
粘连在一起。
更换密封垫
1) 拆下泵头护盖的 4 (左右共计 8 )内六角孔螺栓(M6×95)
2) 请将泵头护盖内侧 2 个黑色密封垫拆下,更换为新的密封垫。
※请确认密封垫已嵌进泵头护盖的密封垫沟槽内。
3) 请用 5.0Nm 的力量将泵头护盖固定用的内六角孔螺(M6×95) 对角拧紧。
※如果要更换其他磨损部件,不要关闭护盖,请参照各部位的更换工序项目操作。
连接管
密封垫
内六角孔螺栓
(M6×95)
泵头护盖内侧
泵头护盖
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●更换
O
型圈
P-10
1) 按照与更换密封垫相同的要领拆下泵头护盖、连接管。
2) O 型圈 P-10 安装在连接头护盖之间的连接管上。
3) 插进连接管,进行更换时请注意不要损伤 O 圈。(1 根上有两侧 2
※更换前,请对连接管的
O
型圈沟槽、泵头的连接管安装孔进行清扫。护盖的安装,请按照密封
垫的更换步骤实施。如果要更换其他磨损部件,不要关闭护盖,请参照各部位的更换工序项目
操作。
●更换气阀
1) 拆下压阀装置
2) 请将吸排气阀拆下。更换为新的吸排气阀。
※护盖的安装,请按照更换密封垫的步骤实施。如果要更换其他磨损部件,不要关闭护盖,请参
照各部位的更换工序项目操作
O
型圈
P
-
10
连接管
吸排气阀
压阀装置
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5-2.
保养检查
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更换气缸密封
1) 拆下气缸板。
2) 请将气缸密封垫拆下,更换为新的气缸密封垫。
※护盖的安装,请按照密封垫的更换步骤实施。如果要更换其他磨损部件,不要关闭护盖,请参
照各部位的更换工序项目操作。
更换皮碗式密封圈
1) 拆下气缸。
2) 拆下内六角孔螺(M8×20)
3) 请将皮碗式密封圈按压装置拆下,更换新的皮碗式密封圈
请注意皮碗式密封圈的方向。要嵌入连接杆
4) 更换后,请用 12.0Nm 的力量拧紧内六角孔螺栓(M8×20)
※护盖的安装,请按照更换密封垫的步骤实施。如果要更换其他磨损部件,不要关闭护盖,请参
照各部位的更换工序项目操作。
气缸板
皮碗式密封圈按压装置
皮碗式密封圈
气缸密封垫
内六角孔螺栓(M8×20)