RX-8_说明书(1).pdf - 第259页
4 操作篇 4-9 手动控制 177 4 [ 基板停止位置调整 ] 对话框 触摸 [ 传送控制 ] 画面的 [ 基板停止位置调整 ] ，即会显 示 [ 基板停止位置调整 ] 对话框，用于使用生产对象基 板自动示教，实施各站 点的基板传送测试，使基板 停止位置停止在正确的目标位置 。 (a) 通道选择 显示要进行基板停止位置调整 的对象通道。 在本机为单一传送模式 时，仅显示 [F] 按钮，不能选择。 对象单元在共通面板中选择。 (b) …
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n [ ]
触摸[传送控制]画面的[传送位置调整]，即显示[传送位置调整]对话框，可调整各轨道宽度方向的位置，
以及进行后侧通道的基准轨道的位置示教。
(a)
微调动作移动速度 从低速，中速，高速中选择通过微调动作操作按钮移动传送轨
道的速度，用于调整通道宽度。
(b)
前通道 显示和调整前侧通道的宽度。
※基准轨道（第 1 轨道）的位置是固的，不能移动。
(c)
通道宽度 显示当前通道宽度(mm)。
通过微调动作操作按钮移动轨道，调整通道宽度。
(d)
关闭 关闭[传送位置调整]对话框。
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4
[基板停止位置调整]对话框
触摸 [传送控制]画面的[基板停止位置调整]，即会显示[基板停止位置调整]对话框，用于使用生产对象基
板自动示教，实施各站点的基板传送测试，使基板停止位置停止在正确的目标位置。
(a)
通道选择 显示要进行基板停止位置调整的对象通道。
在本机为单一传送模式时，仅显示[F] 按钮，不能选择。
对象单元在共通面板中选择。
(b)
生产程序信息 如果生产程序尚未设置，要向调整用的治具基板进行生产程序切换时，可触
摸[生产程序切换]。
如果生产程序已设置，使用该对象生产基板进行调整时，无需进行本操作。
(c)
微调 通过对于对象通道传送宽度微调操作进行微调整，通道会以低速动作。
(d)
执行调整 将基板安放在对象站点上之后，触摸此项，即反复进行基板的传送动作及
BOC/领域标记的识别，自动示教实际停止位置相对于基板的目标停止位置的
偏差值。
调整处理正常完成后，将该数据作为以后基板停止位置的补正值覆盖保存到
机器数据。
(e)
关闭 关闭[基板停止位置调整]对话框。
a
b
d
e
c
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基板停止位置示教操作
如果生产中的基板停止位置与目标位置存在较大偏差，要使用生产对象基板进行示教，使基板的停止位置
停止在正确的目标位置。
1 [ ] [ ]
如果不行生产程序的切换，则无法使用专用的治具基板进行进行调整。
Ÿ
使用的生产程序中，
BOC/
领域标记的信息必须至少要定义
1
个点。
2 [ ] [ ]
显示[基板停止位置调整]对话框。
3 [ ]
[F]
4
5 [ ]
反复进行基板的传送动作与 BOC/领域标记的识别，自动示教基板实际停止位置与目标停止位置的偏
差值。
调整处理正常完成后，将该数据作为以后基板停止位置的补正值覆盖保存到机器数据。
6
7 3 6
8 [ ]
返回到[传送控制]画面。
Tips
Ÿ
通过本操作的基板停止位置调整结果，即使生产程序变更为了其他程序，也会直接继承。如果
因为生产程序的切换，再次发生基板停止位置的偏差，请重新实施调整。