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第 5 章 维护篇 5-2. 保养检查 40 真空压力降低有时是真 空泵消耗品的 磨损所致。 必要的部件 品号 品名 数量 备注 40138045 真空泵维护套件 1 大致更换周期 : 1 年 磨损部件的更换方法 请拆下左侧面的护 盖再进行作业。 如果左侧面的护盖拆不下来 ,请将机器正 面的护盖 拆下,再进行 作业。 1. 1 . 将台车拉出,关闭 机器的电源。 请将总断路器也关断。 2 . 拧下 6 处的螺丝,拆下左右护盖。

第
5
章 维护篇
5-2.
保养检查
39
5
7
.
电池的更换完成后,按画面上的
[
交换
完毕]。
8
.
按
[
交换到新电池
]
,使装置复位。
9
.
变为电池交换画面后,确认“电池更
换日期”,按[关闭]结束。

第
5
章 维护篇
5-2.
保养检查
40
真空压力降低有时是真空泵消耗品的磨损所致。
必要的部件
品号
品名
数量
备注
40138045
真空泵维护套件
1
大致更换周期
: 1
年
磨损部件的更换方法
请拆下左侧面的护盖再进行作业。
如果左侧面的护盖拆不下来,请将机器正面的护盖拆下,再进行作业。
1.
1
.
将台车拉出,关闭机器的电源。
请将总断路器也关断。
2
.
拧下
6
处的螺丝,拆下左右护盖。

第
5
章 维护篇
5-2.
保养检查
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5
2.
1
.
拔下总气管。
拆下装置背面的护罩(螺丝
6
处),
请拔下总气管。
3.
拔下右图红圈处的连接器。
4.
拆下固定真空泵支架的
2
处螺丝,
拉出真空泵。
螺丝要重新使用,请勿遗失。