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第 3 章 导入篇 3-1. 安装 6 (a) 锁定用螺母 (b) 脚的六角螺母 (c) 脚 3 X Y 0.05mm 1 0.02mm 2 1 0.05mm 1 下降 上升
第
3
章 导入篇
3-1.
安装
5
3
3-1-3.
安装
RX-8
根据导入的安装系统生产线的基板搬送规格，调整本机的基板搬送面和搬送高度。
本机单机的基板搬送规格如下所示。
1
7 X Y
2
4
向右旋转为上升，向左旋转为下降。
•
脚高度调整用六角螺母的
2
面宽度为
65mm
。
基板传送高度度
900 mm
+30
-10
水平仪
第
3
章 导入篇
3-1.
安装
6
(a)
锁定用螺母
(b)
脚的六角螺母
(c)
脚
3
X Y
0.05mm 1 0.02mm 2 1 0.05mm
1
下降
上升
第
3
章 导入篇
3-1.
安装
7
3
3-1-4.
取下固定托架
导入本机时，使用六角扳手套件，将固定
XY
轴移动部分的托架，以及固定支撑台的移动部分托架卸下
来。
n
如果不把固定移动部分的托架全部拆掉，则有造成本机损坏，导致
人身事故的危险性。
n
Z (2 )
切断固定
Z
轴的电缆绑带，请取下
Z
轴上部的气泡包装膜。