RX-8_说明书(1).pdf - 第503页
4 操作篇 4-17 机器设置 421 4 n 各平台将使用基板停止 器设定为默认值时,为 ON 。 设为“ ON ”时,可以由手动控制操作停 止器。 生产支援系统的通信功 能,可以由主机读取 RX-8 的停止器设定。 对于基板生产时停止器的使用,优先生产 程序侧的设定。 在[功能设定]画面, 可以对使用基板停止器时的基板 传送 [ 减速目标位置 ] 及 [ 停止器抵住时的基板押入 量 ] 进行调整。 「减速目标位置」可以 按各传送速度…

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4-17-1. 基板停止器的设定
使用基板停止器功能时,请在[装置设定]画面,设定[基板停止器装备]、[基板停止器使用]。
可以分别对各站点进行设定。
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在 RX-8,只有 1 个设定位置(距离单元中央的 X 方向基板位置决定距离:175mm)时,显示以下内容。
• 无
• 有(3) [175mm]

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各平台将使用基板停止器设定为默认值时,为 ON。
设为“ON”时,可以由手动控制操作停止器。
生产支援系统的通信功能,可以由主机读取 RX-8 的停止器设定。
对于基板生产时停止器的使用,优先生产程序侧的设定。
在[功能设定]画面,可以对使用基板停止器时的基板传送[减速目标位置]及[停止器抵住时的基板押入
量]进行调整。
「减速目标位置」可以按各传送速度进行设定。
[减速目标位置]表示在基板停止器前侧暂停传送动作的位置,指定到基板停止器的距离。
基板到达减速目标位置后,以低速的位置决定速度传送剩余距离,将基板向停止器押入「停止器抵住时
的基板押入量」。
Tips
Ÿ
生产时使用或不使用基板停止器的判别要由生产程序决定,如果在生产程序中指定了「停止器
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」,装置即使用基板停止器进行生产。

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4-17-2. 固定吸嘴的设定
设定固定吸嘴后,可将装置上的 ATC 单元上配置的吸嘴作为固定吸嘴分配,使用装置的 ATC 单元固定吸
嘴信息进行生产程序的优化。
固定吸嘴,仅当用户级别为[SUPERVISOR]或[MAINTENANCE]时才能设定。
对装置上的 ATC 单元配置吸嘴分配,可在 [机器设置] – [功能设定] 画面中触摸 ATC 单元的 ATC 吸嘴分配
(固定吸嘴)项目的 [表示详细] 按钮,即显示[ATC 吸嘴分配] 对话框。
n ATC
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