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第 5 章 维护篇 5-2. 保养检查 45 5 No. No. 1 内六角孔螺栓( M6×9 5 ) 8 个 9 气缸板 2 泵头护盖 1 10 气缸密封垫 3 连接管 11 气缸 4 O型圈 P - 10 12 内六角孔螺栓( M8×2 0 ) 5 泵头护盖 2 13 皮碗式密封圈按压装置 6 密封垫 14 皮碗式密封圈 7 压阀装置 15 连接杆 8 吸排气阀

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5
维护篇
5-2.
保养检查
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更换气缸密封
1) 拆下气缸板。
2) 请将气缸密封垫拆下,更换为新的气缸密封垫。
※护盖的安装,请按照密封垫的更换步骤实施。如果要更换其他磨损部件,不要关闭护盖,请参
照各部位的更换工序项目操作。
更换皮碗式密封圈
1) 拆下气缸。
2) 拆下内六角孔螺(M8×20)
3) 请将皮碗式密封圈按压装置拆下,更换新的皮碗式密封圈
请注意皮碗式密封圈的方向。要嵌入连接杆
4) 更换后,请用 12.0Nm 的力量拧紧内六角孔螺栓(M8×20)
※护盖的安装,请按照更换密封垫的步骤实施。如果要更换其他磨损部件,不要关闭护盖,请参
照各部位的更换工序项目操作。
气缸板
皮碗式密封圈按压装置
皮碗式密封圈
气缸密封垫
内六角孔螺栓(M8×20)
5
维护篇
5-2.
保养检查
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5
No.
No.
1
内六角孔螺栓(
M6×95
8
9
气缸板
2
泵头护盖
1
10
气缸密封垫
3
连接管
11
气缸
4
O型圈
P
-
10
12
内六角孔螺栓(
M8×20
5
泵头护盖
2
13
皮碗式密封圈按压装置
6
密封垫
14
皮碗式密封圈
7
压阀装置
15
连接杆
8
吸排气阀
5
维护篇
5-2.
保养检查
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5.
1
.
将真空泵附着的金属板固定在真空泵
支撑架上。
※需使用固定真空泵金属板的螺丝
2
.
接上连接器。
6
.
1
.
2.
请拧紧
6
处的螺丝,固定左右的护盖。
请打开机器的电源,确认从真空泵未发出异响等。
安装要压紧固定真空泵的
金属板。