RX-8_说明书(1).pdf - 第671页
6 第 6 章 附录 6-1. 故障排除 2 6-2. 安全重要零件列表 4 6-3. 产品安全数据表 5 6-4. 词汇表 8 6-5. 空气流动概要图 14
第
5
章 维护篇
5-2.
保养检查
46
5.
1
.
将真空泵附着的金属板固定在真空泵
支撑架上。
※需使用固定真空泵金属板的螺丝
2
.
接上连接器。
6
.
1
.
2.
请拧紧
6
处的螺丝，固定左右的护盖。
请打开机器的电源，确认从真空泵未发出异响等。
安装要压紧固定真空泵的
金属板。
6
第6章 附录
6-1.
故障排除 2
6-2.
安全重要零件列表 4
6-3.
产品安全数据表 5
6-4.
词汇表 8
6-5.
空气流动概要图 14
第
6
章
附录
6-1.
故障排除
2
6-1.
故障排除
本机无法启动。
主电源未打开。
打开主电源。
主断路器处于关闭状态。
打开主断路器。
MAIN
开关处于关闭状态。
打开
MAIN
开关。
电源电缆断线。
更换为正常的电源电缆。
紧急停止开关处于按下状态。
解除紧急停止开关。
本机动作过程中发生
异常。
控制用计算机停止动作
(
Freeze
)
，
或动作异常。
按下紧急停止开关。
解除紧急停止开关。
菜单画面显示关闭按钮后，执行
关闭。不显示按钮时关闭
MAIN
开关，
5
分钟后关闭主断路器，
等待
5
秒钟后再打开主断路器，
并打开
MAIN
开关，重新启动本
机。
正常启动时开始操作。
需要修理时，请与您购买本机器的销
售公司，或敝公司服务部联系。
机构部发生以下症状。
－
动作停止。
－
动作异常。
－
发出异音。
按下紧急停止开关后，按下
MAIN
开关。
打开正面盖板（护罩），确认本
机内部。
确认机构部中是否有零件，基
板，工具等混入。
需要修理时，请与您购买本机器的销
售公司，或敝公司服务部联系。
控制用计算机无法启
动。
由于控制用计算机的硬件问题发生
故障。
需要修理时，请与您购买本机器的销
售公司，或敝公司服务部联系。
由于控制用计算机的软件问题导致
停止动作（
Freeze
）。
将
MAIN
开关置于
OFF
，等待
5
秒再
将
MAIN
开关置于
ON
重新启动。
需要修理时，请与您购买本机器的销
售公司，或敝公司服务部联系。
由于本机下部的高热
量导致发臭。
由于短路等引起火灾。
按下紧急停止开关后按下
MAIN
开关，关闭主断路器后关闭主电
源。
检查发热的位置。
需要修理时，请与您购买本机器的销
售公司，或敝公司服务部联系。