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第 5 章 维护篇 5-2. 保养检查 46 5. 1 . 将真空泵附着的金属板 固定在真空泵 支撑架上。 ※需使用固定真空泵金 属板的螺丝 2 . 接上连接器。 6 . 1 . 2. 请拧紧 6 处的螺丝,固定左 右的护盖。 请打开机器的电源,确 认从真空泵未 发出异响等。 安装要压紧固定 真空泵的 金属板。

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5
维护篇
5-2.
保养检查
45
5
No.
No.
1
内六角孔螺栓(
M6×95
8
9
气缸板
2
泵头护盖
1
10
气缸密封垫
3
连接管
11
气缸
4
O型圈
P
-
10
12
内六角孔螺栓(
M8×20
5
泵头护盖
2
13
皮碗式密封圈按压装置
6
密封垫
14
皮碗式密封圈
7
压阀装置
15
连接杆
8
吸排气阀
5
维护篇
5-2.
保养检查
46
5.
1
.
将真空泵附着的金属板固定在真空泵
支撑架上。
※需使用固定真空泵金属板的螺丝
2
.
接上连接器。
6
.
1
.
2.
请拧紧
6
处的螺丝,固定左右的护盖。
请打开机器的电源,确认从真空泵未发出异响等。
安装要压紧固定真空泵的
金属板。
6
6 附录
6-1.
故障排除 2
6-2.
安全重要零件列表 4
6-3.
产品安全数据表 5
6-4.
词汇表 8
6-5.
空气流动概要图 14